Прекратите тратить время в ожидании, пока духовка нагреется.
В мире производства полупроводников каждая секунда ожидания — это потеря денег.
Многие предприятия по-прежнему используют системы с циркуляцией горячего воздуха. Это устаревший способ: сначала нагревается воздух, а затем можно надеяться, что этот воздух нагреет саму деталь. Это медленно и неэффективно.
Мы делаем все иначе. Мы используем инфракрасные лампы с золотыми отражателями. Вместо того чтобы работать с воздухом, инфракрасное излучение напрямую воздействует на подложку. Это более эффективный способ.
Почему именно золото?
Большинство людей использует алюминиевые отражатели, но у них есть один недостаток: алюминий поглощает слишком много энергии. Золото же отражает более 98% инфракрасного излучения. Таким образом тепло концентрируется в одной точке, что позволяет получить высокую плотность тепла именно там, где это необходимо — на самой подложке. При этом не нужно увеличивать мощность оборудования.
Проблема задержки
Если вы когда-либо использовали систему с горячим воздухом, вы знаете, как это раздражает из-за тепловой инерции. Нужно изменить параметры температуры, а потом ждать, пока вся камера нагреется. Это медленно.
У инфракрасных ламп такой проблемы нет. Задержка практически отсутствует. Достаточно включить лампу, и через несколько секунд температура будет достигнута нужного уровня. Это значительно сокращает время обработки и освобождает много места на производственной площадке.
Недостатки (ведь они всегда есть)
Я не буду утверждать, что это решение подходит для всех случаев. Высокоинтенсивное инфракрасное излучение очень мощно, поэтому нужно быть осторожным. Из-за того, что золотые отражатели так хорошо концентрируют тепло, может возникнуть ситуация, когда в определенных местах температура становится слишком высокой. Нельзя просто импровизировать. Крепления должны быть расположены с точностью до миллиметра. Если они слишком близко, деталь может повредиться. Если слишком далеко — все начинается сначала.
Чтобы избежать проблем, мы обычно используем контроллер PID и датчики быстрой реакции. Это помогает предотвратить перегрев подложки, сохраняя при этом высокую скорость обработки.