Как сохранить чистоту в классе 100
При нагреве кремниевых пластин температура сама по себе — это ещё не всё. В условиях класса 100 даже одна крошечная частица пыли может причинить серьезный ущерб — она способна уничтожить целую партию чипов за считанные секунды.
Поэтому мы отказались от традиционных резистивных нагревателей. Они выделяют частицы и газы, что становится препятствием для поддержания высокого уровня чистоты. Вместо этого мы используем инфракрасные лампы из высокочистого кварца. Это гораздо более эффективный способ нагрева.
Секрет заключается в кварце.
Для производства этих ламп мы используем синтетический фьюзированный кварц. Это прочный материал, который не выделяет примесей при изменении температуры. Он остается химически инертным и выполняет свою функцию.
Мы также используем инфракрасное излучение короткой длины волны. Благодаря этому тепло быстро достигает поверхности пластины, без лишнего расхода энергии на нагрев остальных элементов оборудования.
Необходимо соблюдать точные параметры.
Эти лампы разработаны для работы при высокой плотности мощности. Чтобы избежать их повреждения, мы используем систему с галогеном. Это предотвращает слишком быстрое испарение вольфрамовой нити, что сохраняет чистоту внутри лампы и продлевает её срок службы. Результатом является стабильный температурный профиль на всей поверхности пластины.
Но есть одно условие: уплотнения должны быть идеальными. Мы используем специальные заглушки, чтобы обеспечить герметичность. Если уплотнение сломается, внутрь проникнет кислород, и нить мгновенно сгорит. Я видел, как это происходит слишком часто, когда инженеры пытаются сэкономить деньги, используя дешевые компоненты ненадлежащего качества. Поверьте мне, лучше соблюдать рекомендуемые параметры. Это поможет вам избежать множества проблем.
Как использовать их в своем оборудовании
Лучшее в этих лампах — это возможность мгновенного нагрева. Вам не нужно ждать, пока оборудование нагреется, что значительно ускоряет работу.
Только следите за системой охлаждения. Поскольку эти лампы выделяют много тепла, система охлаждения должна быть эффективной. Если поток воздуха не будет достаточным, это может привести к деформации корпуса оборудования или повреждению датчиков.
Эти лампы можно заменить на большинство стандартных ламп, поэтому их легко заменять. Только убедитесь, что ваш источник питания может выдержать начальный пик тока при запуске лампы. Галогеновые инфракрасные лампы начинают работать сразу после включения.