제조 공정에서 오존 문제를 그만 해결해 봅시다.
솔직히 말해서, 장비를 사용한 후에 발생하는 오염물질을 처리하는 것이 가장 힘든 부분입니다.
반도체 제조 과정에서는 모두 ‘제로 배출’을 목표로 합니다. 하지만 일반적인 IR 램프나 대류식 오븐을 사용한다면, 공기 중에 오존이 생성된다는 문제를 겪게 됩니다. 이러한 램프들은 185-254nm 파장대의 빛을 방출하는데, 이로 인해 클린룸 내의 공기가 마치 오존 공장처럼 변해버립니다.
오존은 정말 위험한 물질입니다. 오존은 회로를 손상시키고, 공기를 쾌적하게 유지하기 위해 HVAC 시스템이 더욱 열심히 작동해야 합니다. 이는 계속되는 싸움과도 같습니다.
원인부터 해결하기
우리는 더 이상 증상만 치료하는 것이 아니라, 원인 자체를 해결하기로 결정했습니다.
특수한 석영 필터를 사용하고 필라멘트의 온도를 철저히 конт롤함으로써, 방출되는 빛의 스펙트럼을 조절할 수 있습니다. 이렇게 하면 VUV(진공 자외선) 영역의 빛이 완전히 차단됩니다.
그 결과는 어떨까요? 수지를 경화시키거나 포토레지스트를 건조시키는 데 필요한 열은 그대로 얻을 수 있지만, 해로운 화학 물질은 생성되지 않습니다. 이는 처음부터 설계될 때부터 깨끗한 공정을 구현할 수 있기 때문입니다. 비싼 필터를 추가로 설치할 필요도 없습니다.
필요한 곳에만 열을 공급하기
대류식 가열 방식은 마치 전체 주방을 따뜻하게 만들어서 단 한 알의 완두콩만 따뜻하게 하는 것과 같습니다. 에너지 낭비죠.
하지만 우리의 IR 램프는 다릅니다. 이 램프들은 직접 기판에 열을 가합니다. 매우 빠릅니다. 그래서 건조 장치의 크기도 훨씬 작아질 수 있습니다.
단, 주의해야 할 점이 있습니다. 고강도 IR 빛은 매우 강력하기 때문에, 기판이 너무 얇다면 변형될 수 있습니다. 따라서 컨베이어의 속도와 램프와의 거리를 적절히 조절하여 원하는 생산 속도를 얻으면서도 기판이 손상되지 않도록 해야 합니다.
간편한 설치
가장 좋은 점은, 이 램프들은 그대로 교체할 수 있다는 것입니다. 전체 설비를 다시 연결할 필요가 없으며, 기존의 산업용 전력만으로도 작동합니다.
또한 오존 문제가 사라지므로, 램프 케이스를 특별히 튼튼하고 내구성이 뛰어난 재료로 만들 필요도 없습니다. 이렇게 하면 시간이 지날수록 상당한 비용을 절약할 수 있습니다.
한 가지 부탁드리고 싶은 것은, 6개월마다 반사판의 위치를 확인해 주시는 것입니다. 단 1분밖에 걸리지 않지만, 이를 통해 웨이퍼 전체에 골고루 열이 분배될 수 있습니다.