なぜ強制送風式ではなく、IR加熱方式を採用するのか？ 強制送風式の仕組みを考えてみましょう。要するに、まず空気という「仲介者」を加熱し、そのエネルギーをウェーハや基板に伝えようとするわけです。問題は、これが非常に遅いということです。半導体加工の世界では、この遅さは無駄な時間となってしまいます。 だからこそ、私たちは赤外線発信器を使用するのです。空気を使う代わりに、赤外線は直接対象物にエネルギーを送り込みます。瞬時に効果が現れます。仲介者もなく、待つ必要もありません。
何も燃えないための秘訣
ここが難しい点です。赤外線発信器は非常に高温になります。本当に、とても高温です。 電気ケーブルが石英管に接続される部分が、通常、問題が起きやすい場所です。そこは完全な故障点です。これを防ぐために、セラミック製のエンドキャップを使用して熱ストレスを緩和します。 セラミックは、高温になっても溶けたり変形したりしないので最適です。また、フィラメントを中央に固定しておく役割も果たします。もしエンドキャップが少しでも動いてしまうと、フィラメントが垂れ下がり、ホットスポットができてしまい、結果的にフィラメントが壊れてしまいます。私たちは、チューブが極限状態にあっても、電気的な接続が筐体から完全に分離されるように、特別に設計されたエンドキャップを使用しています。
待ち時間の削減
強制送風式では、チャンバーが十分に温まるまで待たなければなりません。これは時間の無駄です。 一方、赤外線発信器は数秒で対象物に到達します。応答時間においては雲泥の差があり、これによりプロセスのタイミングをより正確にコントロールでき、作業をスムーズに進めることができます。 さらに、装置もシンプルになります。巨大なブロワーやダクトは不要です。発信器から部品までの視界が遮られないようにするだけです。非常にシンプルです。
欠点（完璧なものはない）
赤外線は速いですが、方向性があります。 ホットエアが部品を毛布のように包み込むのとは違い、赤外線は影を作ります。何かが障害物となると、その部分は冷たいままです。 もし部品の形状が複雑だった場合、単一の光源では不十分です。均一に熱を分散させるためには、複数の発信器を使用する必要があります。これにより配線や電力制御が少し複雑になりますが、これがその速さを得るための代償です。