ウェーハ処理装置用温度センサー

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために シリコンウエハを加熱する際、単に温度を上げるだけでは不十分です。クラス100の環境では、ほんの小さなほこりの粒子でさえも、まるで手榴弾のような存在です。それによって、数秒で大量のチップが破壊されてしまいます。 そのため、私たちは従来の抵抗...