Trên khu vực sản xuất, những tấm wafer có kích thước 300 mm sẽ được đưa ra khỏi đường ray và đặt lên bảng nung. Ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ vài phần trăm độ cũng có thể khiến cho hình dạng của lớp phim quang học bị sai lệch. Các đĩa CD cũng có nguy cơ bị hư hại. Toàn bộ quy trình sản xuất đều gặp nguy hiểm. Do đó, cần phải có nguồn nhiệt được điều chỉnh chính xác theo yêu cầu của quy trình – không được có bất kỳ sự sai lệch nào.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sản xuất các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại tại Trung Quốc, giúp đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ ở mức dưới một milimét. Bộ phát tia hồng ngoại được đặt trên bề mặt gốm có khối lượng nhiệt thấp, vì vậy nó có thể điều chỉnh nhiệt độ một cách nhanh chóng và chính xác – đạt đến nhiệt độ mong muốn trong vài giây mà không gây ra sự sai lệch nhiệt độ. Chúng tôi đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1 °C, và độ lặp lại giữa các lần nung cũng dưới 0,2 °C.
Độ chính xác này giúp duy trì nhiệt độ phù hợp trong quá trình nung phim quang học. Nó giúp bảo vệ tính toàn vẹn của lớp oxit và TEOS, đồng thời ngăn chặn sự gia tăng số lượng hạt bụi. Các vật liệu được sử dụng đều có khả năng chống thoát khí thấp, các mối nối được đóng kín, và bề mặt được xử lý sao cho không bị bong tróc.
Tại sao phương pháp này hiệu quả?
Trong các công đoạn in ấn, dây chuyền sản xuất không bao giờ dừng lại. Các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại giúp giữ nhiệt độ ổn định trên wafer, tránh tình trạng có điểm nóng hoặc điểm lạnh. Điều này giúp kiểm soát kích thước và góc của các bề mặt trên wafer một cách chính xác. Tốc độ phản ứng nhiệt nhanh giúp rút ngắn thời gian nung, tiết kiệm năng lượng và tăng năng suất sản xuất – mà không làm tăng nhiệt độ quá cao.
Việc không tạo ra hạt bụi trong quá trình nung giúp giảm số lần thay thế bộ lọc, giảm số lần hủy bỏ quy trình sản xuất, và tăng tỷ lệ sản phẩm thành phẩm. Kết quả là có thể dự đoán được nhiệt độ trên từng wafer, dù đó là wafer số 1 hay wafer số 1000.
Những điều cần lưu ý
Cần phải đảm bảo rằng bộ sưởi phù hợp với kích thước của buồng sản xuất và cách sắp xếp các bộ phận liên quan. Cần kiểm tra kỹ về điện áp, vị trí kết nối, và khoảng cách trong vùng nung. Tia hồng ngoại giúp tăng tốc độ và độ chính xác trong việc điều chỉnh nhiệt độ, nhưng tuổi thọ của bộ phát tia hồng ngoại cũng có giới hạn – vì vậy cần lên kế hoạch thay thế chúng sau 5.000 đến 8.000 giờ sử dụng để tránh gián đoạn trong quá trình sản xuất.
Để đạt được sự đồng đều về nhiệt độ tốt nhất, cần sử dụng các wafer đã được kiểm chứng chất lượng, và giữ cho bộ phát tia hồng ngoại luôn sạch sẽ. Lớp phim mỏng trên bộ phát tia hồng ngoại có thể gây ra sự sai lệch về nhiệt độ một cách nhanh chóng.