Làm sao để các lò nung trong nhà máy sản xuất bán dẫn trở nên “thông minh” hơn nhờ công nghệ tia hồng ngoại UHP?
Nếu bạn đang vận hành một nhà máy sản xuất bán dẫn hiện đại, chắc hẳn bạn đã biết rằng các bóng đèn sưởi có độ tinh khiết cực cao (UHP) chính là yếu tố quan trọng để tạo ra năng lượng nhiệt. Nhưng điều quan trọng là: chỉ có nhiệt lượng thôi thì chưa đủ. Trong bối cảnh ngành công nghiệp 4.0 phát triển mạnh mẽ, các bộ phận tạo nhiệt cần phải hoạt động hiệu quả hơn nữa – chúng cần phải kết nối trực tiếp với chu trình sản xuất của bạn.
Tạo ra nhiệt lượng chính xác
Chúng tôi sử dụng tia hồng ngoại tần số cao vì chúng giúp tạo ra nhiệt lượng nhanh chóng. Điều này giúp loại bỏ sự chậm trễ khi bật công tắc và đạt được nhiệt độ mong muốn.
Khi xử lý các tấm wafer kích thước 300mm, bạn không thể chấp nhận việc có những vùng nóng hoặc vùng lạnh trên bề mặt wafer; toàn bộ bề mặt phải được làm nóng đều. Chúng tôi khắc phục vấn đề này bằng cách điều chỉnh công suất và điện áp sao cho phù hợp với từng loại ống thạch anh. Tuy nhiên, việc sử dụng công suất cao sẽ giúp tăng tốc độ sản xuất, nhưng bạn cần lưu ý kiểm tra nguồn điện của mình. Nếu nguồn điện không đủ công suất để đáp ứng nhu cầu này, bạn sẽ gặp vấn đề khi khởi động máy. Và chắc chắn ai cũng không muốn điều đó xảy ra.
Duy trì sự sạch sẽ và tính chính xác
Trong nhà máy sản xuất bán dẫn, ngay cả một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây ra nhiều vấn đề. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp chất lượng cao – nó giúp ngăn chặn việc khí độc thoát ra và làm hỏng sản phẩm của bạn.
Nhưng điều thực sự tuyệt vời là khi chúng ta loại bỏ các bộ điều khiển cơ học truyền thống. Bằng cách kết hợp các bóng đèn này với các bộ điều khiển PID và cảm biến kỹ thuật số, chúng ta có thể nhận được thông tin về nhiệt độ một cách trực tiếp.
Điều này thật tuyệt vời. Bạn có thể theo dõi tình trạng của các bóng đèn theo thời gian. Thay vì hy vọng rằng bóng đèn sẽ không hỏng trong quá trình sản xuất, hệ thống sẽ tự động báo hiệu khi cần thay thế bóng đèn. Rất đơn giản.
Thực tế phải đối mặt
Có một điểm cần lưu ý: các hệ thống tia hồng ngoại này tập trung một lượng năng lượng lớn vào một không gian nhỏ. Bạn không thể đơn giản lắp chúng vào khung cũ mà coi như xong việc. Nhiệt lượng phát ra rất lớn. Nếu bạn không tính toán lại dòng khí và hệ thống làm mát, bạn sẽ gặp vấn đề với việc bảo vệ thiết bị.
Ngoài ra, đừng quên về việc dây điện. Bạn cần có hệ thống bảo vệ phù hợp để tránh nhiễu điện từ ảnh hưởng đến các cảm biến. Nếu dữ liệu thu được bị nhiễu, thì hệ thống “thông minh” của bạn cũng chẳng còn thông minh gì nữa.