Trên sàn fab, sự biến thiên nhiệt độ trong quá trình nướng photoresist hoặc một wafer nửa khô sau khi vệ sinh không phải là vấn đề lý thuyết. Đó là phế phẩm. Chúng tôi đã chế tạo đèn sóng hồng ngoại của mình ở 1μm và 2μm để giữ kiểm soát nhiệt độ trong khoảng quy trình, ngay cả khi hàng đợi đang bị ùn tắc và môi trường bên ngoài đang cố gắng làm rối bạn.
Những gì quan trọng bên trong
Những đèn này phát ra NIR có mục tiêu ở 1μm và 2μm, phù hợp với cách mà các lớp nước và hóa chất polymer trong quang khắc và đóng gói thực sự hấp thụ. Hình dạng của bộ phát và thiết kế gương phản xạ mang lại sự đồng đều nhiệt độ trên wafer trong khoảng ±0.1°C, điều này bảo vệ các kích thước quan trọng và giữ các đặc tính trong tầm kiểm soát.
Chúng đã sẵn sàng cho phòng sạch Class 1–100, được chế tạo từ vật liệu có độ thoát khí thấp và một kiến trúc tối thiểu hóa các hạt bụi. Việc tạo ra không có hạt bụi không phải là một khẩu hiệu ở đây — đó là một yêu cầu thiết kế nghiêm ngặt. Hệ thống hoạt động 24/7 với các đặc tính gia tăng lặp lại, và đầu ra duy trì ổn định qua hơn 5,000 giờ với mức giảm dưới 5%.
Tại sao nó hoạt động trong thực tế
Trong các bước làm khô wafer và làm sạch-để khô, năng lượng 1μm và 2μm loại bỏ độ ẩm còn sót lại một cách nhanh chóng mà không làm chín nền tảng. Điều này có nghĩa là giảm thiểu công việc làm lại và giữ cho tính toàn vẹn của lớp màng sạch sẽ hơn.
Đối với photoresist, cùng một loại đèn xử lý cả nướng mềm và nướng cứng với độ lặp nhiệt độ chặt chẽ, cải thiện độ gồ ghề của cạnh đường và giảm khuyết tật. Trong đóng gói, chúng cung cấp quá trình đông cứng nhanh, đồng đều, rút ngắn thời gian chu trình trong khi sử dụng ít năng lượng hơn. Lợi ích là năng suất cao hơn, hiệu suất dự đoán được và ít gián đoạn bảo trì hơn.
Những gì bạn cần lên kế hoạch
Những đèn này cần một hồ sơ điện năng chuyên dụng và liên kết nhiệt độ chính xác với giai đoạn mục tiêu. Chúng sẽ tích hợp với hầu hết các thiết bị bán dẫn tiêu chuẩn, nhưng bạn phải xác nhận các dung sai tích hợp trong quá trình lắp đặt để tránh điểm nóng và đạt được sự đồng đều đã nêu.
Lập kế hoạch cho một quá trình chạy thử ngắn để xác định tốc độ gia tăng và thời gian ngâm cho các công thức chính xác của bạn.