На виробничій лінії саме термічні характеристики фоторезисту визначають точність розмірів елементів на пластинці. Якщо процес нагрівання не буде контрольований, товщина фоторезисту стане нерівномірною, а контроль критичних розмірів буде неможливим ще до початку процедури етchingу. Ми створили кварцові лампи з вольфрамовим філаментом, які дозволяють усунути ці нерівномірності – стабільний тепловий випромінювання саме там, де це необхідно для процесу.
Що насправді має значення Усередині лампи вольфрамовий філамент знаходиться в корпусі з високочистого кварцу, що забезпечує чисте та контрольоване інфрачервоне випромінювання. На поверхні пластинки досягається термічна однорідність при значенні ±0,1°C. Це дозволяє ефективно видаляти розчинники під час процедури нагрівання, а також забезпечує стабільне процесу зв’язування молекул фоторезисту під час більш інтенсивного нагрівання. Система може працювати у чистих приміщеннях класу 1–100 без жодних проблем, а її продуктивність залишається стабільною протягом понад 5 000 годин – зміна інтенсивності випромінювання становить менше 5%.
Чому це важливо у літографії У літографії процедура нагрівання визначає параметри фоторезисту перед процедурою експозиції та етchingу. Завдяки цій лампі параметри нагрівання залишаються стабільними: процедура нагрівання ефективно видаляє розчинники, а процедура більш інтенсивного нагрівання забезпечує правильну форму фоторезисту без його надмірного чи недостатнього зв’язування. Така стабільність зменшує кількість бракованих виробів, прискорює процес їх перевірки та забезпечує дотримання специфікацій під час етchingу. Крім того, енергоспоживання залишається оптимальним – швидка реакція на зміни температури та мінімальні втрати енергії знижують витрати на експлуатацію, не знижуючи при цьому продуктивність.
Практичні аспекти, які потрібно врахувати Лампа може працювати зі стандартними інтерфейсами обладнання, але термічні характеристики все одно залежать від конструкції камери.Необхідно провести короткий тестовий запуск, щоб визначити зони найвищої температури та налаштувати геометрію відбивача відповідно до розміру пластинки. Потрібен певний час на нагрівання до стабільних параметрів, а періодична калібрування дозволить зберегти однорідність температури на рівні ±0,1°C протягом багатьох років роботи.