На виробничому майданчику, відхилення температури під час випікання фотопозитиву або напівсуха пластина після очищення не є теоретичною проблемою. Це...

На технологічному поверсі літографії м’яка випічка, яка відхиляється на півградуса, достатня для того, щоб вивести контроль критичних розмірів...

На виробничому майданчику швидко розумієш, що відхилення на 0,5°C під час м’якого випікання фоторезисту призведе до зміщення CD, а нерівномірне...

На виробничому майданчику годинник не зупиняється. Літографія задає ритм, а крок випікання відразу після експозиції визначає, чи тримається вихід...