На виробничій лінії якість продукції залежить від температури. Навіть незначна зміна температури на 0,5°C під час процесу епітаксії GaN призводить до нерівномірності товщини шару, відкидання дискових пластин та недосягнення бажаних параметрів епітаксії. Ми створили інфрачервоний нагрівач типу MOCVD для GaN, щоб усунути ці проблеми.
Що є важливим у конструкції нагрівача
Основою є короткохвильове інфрачервоне випромінювання, яке дозволяє точно контролювати температурне поле. Достигається стабільність температури приблизно ±0,1°C по всій поверхні нагрівача, а також можливість повторного використання нагрівача без змін параметрів температури. Інфрачервоне випромінювання діє швидко, тож температура не перевищує заданого значення. Крім того, характеристики нагрівача залишаються стабільними після технічного обслуговування чи зміни умов роботи у чистих кімнатах. Цей нагрівач підходить для чистих кімнат класу 1–100; при цьому не виникає жодних частинок, а продуктивність залишається стабільною протягом понад 5,000 годин роботи.
Чому цей нагрівач підходить для процесу епітаксії GaN
У процесі епітаксії GaN температурна стабільність визначає якість шарів та кількість дефектів. Якщо температура у гарячій зоні контрольована, можна досягати бажаних параметрів, зменшити кількість відкиданих продуктів та скоротити час процесу епітаксії.
Така ж точність корисна також під час процедур обробки фоторезисту – як під час м’якого, так і жорсткого нагрівання. Це дозволяє краще контролювати критичні розміри та зменшувати кількість дефектів на краях поверхні. Крім того, оскільки система може точно підтримувати потрібну температуру, витрати енергії зменшуються.
Практичні аспекти
Встановлення нагрівача залежить від правильного розташування елементів та налаштування кварцового елемента. Навіть незначна зміна положення на кілька десятих міліметра призводить до зміни температури в гарячій зоні.
Необхідно використовувати окремий джерело живлення з правильним заземленням, інакше може виникнути електромагнітне завадження. Будь-яка зміна кварцових елементів вимагає швидкої перекалібрувації, але після цього характеристики нагрівача залишаються стабільними.