Litografide, yarım derece kadar bile olsa meydana gelen küçük sıcaklık değişiklikleri hızla fark edilir; bu da çizgi genişliklerinde değişikliklere ve verimlilik kayıplarına yol açar. Standartlara uygun şekilde çalışmaya çalışırsınız, ancak ısıtma modülü yonga düzeyindeki eşitlik sorunları yaratır. Ayrıca parçacık oluşumu da temiz oda koşullarını bozar. Doğrusal kızılötesi ısıtma yöntemi her iki sorunu da aynı anda çözer.
Teknik olarak önemli olanlar
Doğrusal kızılötesi verici doğrudan ve hızlı bir şekilde ısıtır ve yonga düzeyindeki sıcaklığı ±0,1°C aralığında tutar. Ayar noktaları saniyeler içinde değiştirilebileceğinden, sıcaklık artışları ortadan kalkar. Bu cihaz, parçacık oluşumunun hiç olmadığı, 1–100 sınıfı temiz odalarda kullanılabilir. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalır ve yoğunlukta %5’ten az bir değişiklik olur. Boyutları ve arayüzleri standart yarı iletken ekipmanlarına uygundur; bu sayede işlem odasında herhangi bir değişiklik yapmadan kullanılabilir.
Fotorezist işlemlerinde neden etkili olduğu
Fotorezist işlemleri, tekrarlanabilir termal profillerle işler. Bu verici sayesinde yumuşak ve katı ısıtma işlemleri daha düzgün gerçekleşir; böylece CD kontrolü daha hassas hale gelir ve yeniden işleme gereksinimleri azalır. Isınma süreci daha hızlı gerçekleşir, böylece döngü süresi kısalarak termal yük artmaz. Enerji tüketimi de azalır çünkü ısıtma hedefe yöneliktir ve kayıplar düşük kalır. Sonuç olarak: tutarlı üretim verimliliği, öngörülebilir bakım aralıkları ve ısıtma sıcaklığıyla ilgili sorunların azalması.
Kurulum sırasında bilmeniz gerekenler
Hizalanma çok önemlidir; yonga yüzeyine göre optik hizalanma ve istenmeyen yansımaları engelleyecek kontrollü mesafeler gereklidir. Özel fotorezist malzemeleriniz için emisyon ve güç ayarlarını yapılandırmak için kısa bir test süreci gerekecektir. Bu verici standart güç ve kontrol arayüzleriyle çalışır; ancak soğutma ve koruma sistemlerini önceden planlamak gereklidir ki yonga ısınırken odanın soğuk kalması sağlansın.