Fabrika zemininde, fotoğrafik direnç pişirme sırasında sıcaklık kayması veya temizlik sonrası yarı kurumuş bir wafer akademik bir mesele değildir. Bu, atık demektir. Kızılötesi dalga lambalarımızı 1μm ve 2μm’de, süreç penceresi içindeki termal kontrolü sağlamak için, kuyruk sıkışmışken ve ortam en iyi şekilde müdahale etmeye çalışırken inşa ettik.
Motorun altında önemli olanlar
Bu lambalar, su filmleri ve litografi ile ambalajdaki polimer kimyasallarının gerçekten nasıl emdiğine uygun olarak, 1μm ve 2μm’de hedeflenmiş NIR yayar. Yayımcı geometrisi ve reflektör tasarımı, wafer düzeyinde ±0.1°C içinde termal homojenlik sağlar; bu, kritik boyutları korur ve profilleri kontrol altında tutar.
Temiz oda Sınıf 1–100’e hazırdır, düşük gaz salınımı olan malzemelerle ve parçacıkları en aza indiren bir mimari ile inşa edilmiştir. Burada sıfır parçacık üretimi bir slogan değil — zorunlu bir tasarım gerekliliğidir. Sistem, tekrarlanabilir ramp profilleri ile 24/7 çalışır ve çıkış 5,000+ saat boyunca %5’ten az bir düşüşle kararlı kalır.
Neden pratikte dayanıklıdır
Wafer kurutma ve temizlik-kurutma adımlarında, 1μm ve 2μm enerjisi, alt tabakayı pişirmeden hızlı bir şekilde kalan nemi ortadan kaldırır. Bu, daha az yeniden işleme ve daha temiz film bütünlüğü anlamına gelir.
Fotoğrafik direnç için, aynı lambalar yumuşak pişirme ve sert pişirmeyi sıkı sıcaklık tekrarlanabilirliği ile yönetir, kenar pürüzlülüğünü iyileştirir ve hataları azaltır. Ambalajlamada, döngü süresini kısaltırken daha az enerji kullanarak hızlı ve homojen kürleme sağlar. Sonuç, daha yüksek verim, öngörülebilir performans ve daha az bakım kesintisidir.
Planlamanız gerekenler
Bu lambaların hedef aşamaya özel bir güç profiline ve hassas termal bağlantıya ihtiyacı vardır. Çoğu standart yarı iletken ekipman ile entegre olurlar, ancak entegrasyon toleranslarını kurulum sırasında doğrulamanız gerekir; sıcak noktalardan kaçınmak ve belirtilen homojenliği sağlamak için.
Kesin tarifleriniz için ramp hızlarını ve bekleme sürelerini kilitlemek amacıyla kısa bir devreye alma çalışması planlayın.