Mengeringkan Wafer MEMS Tanpa Masalah
Saat mengeringkan wafer sensor MEMS, kita perlu berhati-hati. Cairan yang ada di permukaan wafer perlu dihilangkan secepat mungkin—tetapi jika kita terlalu agresif, struktur mikro yang sangat halus tersebut akan rusak.
Selama ini, orang-orang menggunakan oven konveksi untuk tujuan ini. Namun, sebenarnya cara ini membuang-buang energi, karena harus memanaskan udara dalam jumlah besar hanya untuk mengeringkan wafer yang tipis. Itulah mengapa kami beralih ke lampu pemanas berbasis gelombang inframerah pendek. Cara ini lebih efisien, dan juga membantu mengurangi dampak negatif terhadap lingkungan di ruang kerja yang bersih.
Mengarahkan Panas ke Tempat yang Tepat
Kelebihan dari gelombang inframerah adalah tingginya densitas energi yang dihasilkan. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan, energi tersebut ditujukan langsung ke permukaan wafer. Dengan demikian, proses penguapan berlangsung dalam hitungan detik saja. Tidak perlu lagi membuang-buang energi untuk memanaskan udara di sekitar wafer. Waktu pengeringan pun menjadi lebih singkat, sehingga biaya listriknya juga berkurang. Sungguh efisien.
Komponen yang Digunakan
Kami menggunakan kemasan kuarsa berkualitas tinggi, karena bahan ini memungkinkan cahaya UV-Inframerah melewati permukaannya tanpa terhalang. Namun, tidak semua wafer sama. Tergantung pada jenis wafer yang digunakan, kami menambahkan lapisan khusus pada lampu tersebut agar spektrum emisi sesuai dengan kebutuhan. Inilah rahasianya agar sisa cairan dapat menguap tanpa merusak wafer. Selain itu, kami juga menggunakan koneksi industri standar. Sangat mudah digunakan.
Kekurangan dan Cara Mengatasinya
Gelombang inframerah pendek memang memiliki kekuatan yang besar, tetapi membutuhkan pengetahuan khusus untuk menggunakannya dengan benar. Kita perlu memastikan kecepatan conveyor dan ketinggian lampu tepat. Jika wafer berada di bawah lampu terlalu lama, maka wafer tersebut bisa rusak akibat tekanan termal. Logika kontrol PLC perlu disetel dengan baik, agar sensor tidak rusak.
Bergerak menuju “Pabrik Hijau” bukan sekadar slogan belaka. Ini merupakan cara untuk menghilangkan pemanas berbasis udara yang menghabiskan banyak energi. Dengan demikian, ukuran peralatan menjadi lebih kecil, dan emisi CO2 pun berkurang. Ini merupakan keuntungan bagi proses produksi maupun bagi lingkungan.