अपने वैक्यूम चेम्बर के गर्म होने का इंतज़ार करना बंद करें
यदि आप एक आधुनिक, स्मार्ट फैब बनाने की कोशिश कर रहे हैं, तो आपने शायद यह महसूस किया होगा कि ऊष्मा प्रबंधन एक बड़ी समस्या है। पारंपरिक तरीकों से ऊष्मा प्रदान करने में बहुत समय लगता है। आपको अपने काम शुरू करने से पहले लंबा समय इंतज़ार करना पड़ता है, और डिजिटल उपकरणों के साथ इस प्रक्रिया को संचालित करना भी बहुत कठिन है।
यहीं पर इन्फ्रारेड हीटर काम आते हैं। ये पूरे कमरे को गर्म करने के बजाय सीधे ऊष्मा प्रदान करते हैं। इससे आप लक्षित तापमान तक तुरंत पहुँच सकते हैं। अब आपको चेम्बर की दीवारों के “गर्म होने” का इंतज़ार करने की आवश्यकता नहीं है।
“स्मार्ट” फैब बनाने हेतु…
एक “स्मार्ट” फैब तभी ही उपयोगी है, जब उसमें अच्छी फीडबैक प्रणाली हो। यदि हीटर में प्रतिक्रिया देने में 10 मिनट लगते हैं, तो आपका डेटा बेकार ही हो जाता है।
इन्फ्रारेड हीटर ऐसे ही हैं – जैसे ही आप वोल्टेज में बदलाव करते हैं, वे तुरंत प्रतिक्रिया देते हैं। जब इन्हें एक तेज़ PID कंट्रोलर वाले PLC से जोड़ा जाता है, तो आप ऊष्मा-प्रवाह को तुरंत समायोजित कर सकते हैं। इससे आपको वेफर का सटीक तापमान पता चल जाता है। अब ऊष्मा प्रदान करना कोई साधारण काम नहीं है – यह तो एक सटीक डेटा-पॉइंट है, जिसे आप नियंत्रित कर सकते हैं।
वैक्यूम में काम करने की वास्तविकता…
लेकिन एक समस्या यह है कि वैक्यूम में काम करते समय कंवेक्टिव कूलिंग नहीं हो पाती। सब कुछ विकिरण के माध्यम से ही होता है।
हम ऐसे हीटर बनाते हैं जो अधिक शक्ति को संभाल सकें… लेकिन आपको सावधान रहना होगा। यदि आप वोल्टेज बहुत अधिक रखते हैं, तो कूलिंग सिस्टम पर अतिरिक्त बोझ पड़ जाता है। यदि वे वातावरणीय ऊष्मा को संभाल नहीं पाते, तो चेम्बर के सील खराब हो जाते हैं। यह एक संतुलन का काम है… आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपका कूलिंग सिस्टम आपके द्वारा उत्पन्न ऊष्मा को संभाल सके… वरना आपको बार-बार सील बदलने पड़ेंगे।
अपनी जगह को वापस पाना…
सबसे अच्छी बात यह है कि इन्फ्रारेड हीटरों को ज्यादा जगह की आवश्यकता नहीं है। आप उन बड़े ओवनों को हटाकर इन्हें उनकी जगह पर रख सकते हैं।
इससे आपका कार्य-समय काफी कम हो जाता है। चूँकि ऊर्जा सीधे ही सब्सट्रेट तक पहुँचती है, इसलिए आपको वैक्यूम पंपों एवं चेम्बर की दीवारों को गर्म करने हेतु बिजली खर्च करने की आवश्यकता नहीं है। यह तो बहुत ही अच्छा है… बिजली-बिल भी कम आता है, और पूरी लाइन को विस्तारित करना भी आसान हो जाता है।