Protéger les substances lors du chauffage de produits chimiques volatils
Si vous utilisez des lignes de nettoyage de wafer, vous savez déjà à quoi vous attendre : vous travaillez avec des vapeurs de produits chimiques inflammables. Imaginez maintenant que l’on ajoute une lampe infrarouge à haute température à ce mélange… C’est le chemin vers la catastrophe. C’est pourquoi nous ne nous contentons pas de fabriquer des lampes. Nous concevons nos systèmes infrarouges avec un revêtement spécial qui protège les composants électriques et le quartz chaud des vapeurs dangereuses.
Comment fonctionne ce revêtement ?
En réalité, les lampes standards ont tendance à laisser s’échapper de la chaleur et de l’électricité juste au niveau des joints. Dans un environnement chimique, ces fuites ne sont pas seulement gênantes : elles représentent également des sources d’incendie. Pour y remédier, nous utilisons des boîtiers en quartz hermétiquement scellés. Cela empêche complètement l’élément chauffant de venir en contact avec l’air. De plus, nous utilisons des joints capables de résister aux produits chimiques agressifs, afin que le boîtier ne se fissure pas dès qu’il est soumis à des chocs thermiques. De plus, nous ne lésinons pas sur les matériaux utilisés. Nous utilisons du quartz de haute pureté, car il peut supporter la chaleur intense nécessaire pour sécher rapidement les wafer sans qu’ils ne se déforment. De plus, nous utilisons des résines de qualité industrielle pour protéger les connexions électriques. Cela empêche les fumées corrosives de endommager les câbles ou de provoquer des courts-circuits pouvant entraîner un incendie. Il s’agit de tranquillité d’esprit.
Obtenir une température uniforme
Il est difficile d’obtenir une température uniforme sur tout le surface du wafer. Si une lampe fonctionne légèrement plus chaud que les autres, cela crée des zones chaudes. Ce n’est pas idéal. C’est pourquoi nous maintenons des tolérances de puissance très strictes. De plus, nous veillons à ce que les lampes soient suffisamment petites pour pouvoir être placées dans les chambres de nettoyage exiguës. Comme il s’agit de rayonnement infrarouge direct, les produits chimiques présents dans l’air ne absorbent pas la chaleur. Seul le wafer en est affecté. Simple.
Les compromis (la vérité)
Ce niveau de fermeture rend les lampes un peu plus volumineuses. On ne peut pas simplement les installer dans des supports standard sans aucun problème. Avant d’acheter, vérifiez bien la taille disponible dans votre chambre de nettoyage. Vous devez également vous assurer que vos ventilateurs de refroidissement parviennent bien à évacuer la chaleur des lampes. Si le boîtier retient trop de chaleur, les joints internes se détériorent beaucoup plus rapidement. Un dernier conseil : connectez les lampes à un contrôleur de précision. Vous ne voulez pas dépasser la température cible et risquer de endommager vos wafer.