En el área de litografía, incluso una pequeña cantidad de humedad en la superficie puede causar problemas durante el proceso de secado. Se pierde el control sobre el espesor del fotorrevestimiento y de los CD, incluso antes de utilizar la herramienta de exposición. Las placas calientes tienen dificultades para eliminar esa humedad rápidamente, sin calentar también la parte posterior de la oblea; y ahí es donde comienzan a aparecer distorsiones en los patrones. Hemos creado una lámpara para eliminar la humedad de las obleas, que permite un secado rápido y eficaz, sin afectar negativamente al rendimiento térmico de la oblea.
La lámpara utiliza elementos halógenos de onda corta dentro de una envoltura de cuarzo, lo que permite liberar energía de forma rápida y controlada. En la zona expuesta, se logra una uniformidad de temperatura de ±0.1°C, y la precisión en el ajuste de la temperatura se mantiene dentro de unos pocos grados. Esa estabilidad garantiza que los perfiles de secado no varíen de lote en lote.
Esta lámpara puede funcionar en salas limpias de clase 1–100, sin aumentar el número de partículas en el aire. Su diseño de baja masa también reduce el retraso térmico cuando se cambian las configuraciones de secado.
En el uso diario, las obleas entran en el secador, y se reducen los defectos relacionados con la humedad. Los perfiles del fotorrevestimiento se vuelven más precisos. El tiempo de ciclo disminuye, ya que la eliminación de la humedad ocurre en segundos en lugar de minutos. Además, el consumo de energía es bajo en comparación con los módulos de secado completo. La fiabilidad de esta lámpara es excelente: ha funcionado más de 5,000 horas, con menos del 5% de pérdida de rendimiento, lo que permite su uso continuo 24/7, sin interrupciones imprevistas.
La instalación es sencilla, pero lo importante es el alineamiento correcto. La lámpara debe iluminar únicamente la superficie frontal de la oblea, y es necesario ajustar el ángulo de la luz según el tamaño de la oblea, para evitar que se sobrecaliente su borde. Se necesita un breve periodo de pruebas para ajustar el tiempo de funcionamiento y la intensidad de la luz, de modo que la lámpara funcione en conjunto con el proceso de secado, y no en contra de él.
Los beneficios son claros: el fotorrevestimiento funciona de manera predecible, el control de los CD se mantiene preciso, y se evita tirar productos por culpa de la humedad que llega en el momento erróneo.