Sicherheit bewahren: Infrarotheizungen in den Reinigungsbereichen für Halbleiter
Wer schon einmal in einem Reinraum für Halbleiter war, kennt die Atmosphäre dort – alles ist äußerst sauber. Doch die zur Reinigung verwendeten Chemikalien sind oft brennbar und können gefährlich sein. Wenn man Infrarotheizlampen in solche Bereiche bringt, bringt man im Grunde eine Wärmequelle in einen Raum voller brennbarer Dämpfe. Ein einziger elektrischer Funke oder ein zu heiß werdender Komponent kann zu großen Problemen führen.
Der Ansatz „Alles gut verschließen“
Wir werfen die Lampen einfach nicht einfach in eine Box und schon ist alles erledigt. So entstehen Unfälle. Stattdessen verpacken wir alles in einen wasserdichten, explosionsgeschützten Behälter. Wir verwenden hochwertige Quarzkapseln mit einer speziellen Beschichtung, die auch bei Berührung mit aggressiven Chemikalien nicht beschädigt wird. Das Ziel ist einfach: Die Dämpfe müssen draußen bleiben. Selbst wenn eine Lampe ausfällt, bleibt die Abdeckung intakt – somit berühren die inneren Filamente niemals die Luft um sie herum. Zudem verwenden wir spezielle Dichtungen, damit die „heiße Zone“ und die „Dampfzone“ voneinander getrennt bleiben.
Stabilität und Sauberkeit gewährleisten
In einem Reinraum bedeutet „Stabilität“ im Grunde „die Umgebung nicht kontaminieren“. Wir sorgen dafür, dass unsere Heizgeräte keine Stoffe abgeben, die die Arbeitsumgebung verschmutzen könnten. Um Korrosion durch die aggressiven Dämpfe zu vermeiden, verwenden wir vergoldete oder hochnickelhaltige Anschlüsse. Diese halten besser stand.
Außerdem gibt es noch das Problem der hohen Temperaturen. Hochleistungs-Infrarotlampen werden sehr heiß. Wenn der Rahmen des Wagens nicht für diese Temperaturen geeignet ist, kann das Metall verformt werden – im schlimmsten Fall lösen sich die Brandmelder aus und der ganze Bereich muss stillgelegt werden. Wir investieren viel Zeit in die Einstellung der Leistung, damit die Substrate die richtige Temperatur erreichen, ohne dass der Wagen zu einem Ofen wird.
Der Kompromiss
Ehrlich gesagt kommt diese Sicherheit mit einem kleinen Preis verbunden. Aufgrund des Schutzglases und der Abdeckung geht etwas an der Effizienz der Infrarotstrahlung verloren. Ein Teil des Infrarotspektrums wird bereits vor dem Erreichen des Ziels absorbiert. Man muss vielleicht die Leistung erhöhen oder die Lampe etwas näher an das Substrat bringen, damit die gewünschte Temperatur erreicht wird. Doch sobald der PID-Regler richtig eingestellt ist, funktioniert das System einwandfrei. Man erhält die benötigte Wärme – ohne ständige Sorgen wegen eines Brandes im Reinigungsbereich.