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Beiträge zum Thema “Unterstützung”
Heizung zur Unterstützung des Rückschleifens von Wafern

Heizung zur Unterstützung des Rückschleifens von Wafern

Auf der 300mm-Linie ist das Wafer-Dünnen direkt vor dem Dicing der Punkt, an dem thermische Spannungen zu Ausschuss führen. Ein Support-Heizer, der...
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