在制造车间里，300毫米的晶圆会从输送带上被送至加热板上。哪怕温度有极其微小的波动，也会导致光刻胶的厚度出现偏差。这样一来，CD的生产就会受到威胁。因此，必须确保热量能够精确地施加到工艺要求的位置上，不能有任何误差。
技术上的关键点
我们在中国生产短波红外加热器，这种加热器能够实现亚毫米级别的温度均匀性。石英发射器阵列位于低热容的陶瓷基座上，因此能够快速达到设定温度，且不会超过设定值。在整个加热区域内，我们希望实现±0.1℃的温度均匀性，而重复性则保持在0.2℃以内。
这样的精度才能确保光刻胶在加热过程中的温度控制在理想范围内，从而保护TEOS和氧化层的完整性，同时避免颗粒数量的增加。此外，这些加热器还具备与1级到100级洁净室的兼容性：使用低挥发性的材料，密封接合处，以及不易剥落的表面处理方式。
为何它如此有效
在光刻过程中，生产线从未停止过运转。我们的红外加热器能够将晶圆保持在理想的温度下，避免出现局部过热或过冷的情况，从而确保晶圆的尺寸和侧壁角度符合标准。快速的响应速度可以缩短加热时间，降低能耗，提升生产效率——同时不会使温度过高。
在持续加热过程中，由于不会产生任何颗粒，因此无需频繁更换过滤器，也能减少生产中断的情况。这样一来，每批晶圆的温度都保持一致，从而提高生产的可预测性。
需要注意的事项
必须确保加热器与腔体的尺寸及固定方式相匹配。同时，还要仔细检查电压、连接器位置以及加热区域内的间隙。虽然短波红外加热器具有快速响应的特性，但其使用寿命是有限的，因此建议在5,000到8,000小时之后更换加热器，以避免生产中断。
为了获得最佳的温度均匀性，应使用经过认证的晶圆作为校准基准，并保持发射器阵列的清洁。如果发射器表面有薄薄的石英膜，就容易影响温度分布。