Giữ cho bề mặt wafer sạch sẽ (và giữ tâm trí bạn ổn định)
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rõ những khó khăn mà nó mang lại. Chỉ cần có một hạt bụi nhỏ hay khí thải từ các loại đèn, toàn bộ sản phẩm của bạn sẽ bị hư hỏng. Khi chúng tôi thiết kế các bộ phản xạ ánh sáng và đèn sưởi dùng để xử lý wafer, chúng tôi luôn hướng tới một mục tiêu duy nhất: đảm bảo rằng không có gì có thể xâm nhập vào bề mặt silic của wafer.
Bí quyết nằm ở thạch anh
Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao cho các loại đèn này. Tại sao ư? Bởi vì thủy tinh thông thường không thể chịu được nhiệt độ cao; nó sẽ bị nứt vỡ do tác động của nhiệt độ. Nhưng thạch anh thì khác. Nó hoạt động như một “cửa sổ trong suốt” cho các tia hồng ngoại, giúp ánh sáng đi qua mà không bị hấp thụ. Để đảm bảo nhiệt lượng được chuyển đến đúng vị trí cần thiết, chúng tôi kết hợp đèn với bộ phản xạ thạch anh được gia công tỉ mỉ. Nhờ vậy, năng lượng sẽ được chiếu trực tiếp vào wafer. Điều này giúp tiết kiệm năng lượng và tăng hiệu quả xử lý.
Ngăn chặn hiện tượng “tuyết rơi”
Vấn đề với các bộ phản xạ kim loại thông thường là chúng sẽ bị oxy hóa theo thời gian. Trong phòng sạch, điều này gây ra thảm họa. Chúng tôi gọi hiện tượng này là “hiện tượng tuyết rơi”. Đó là điều cuối cùng mà chúng ta muốn xảy ra trong quá trình xử lý wafer. Vì vậy, chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ thạch anh có độ tinh khiết cao. Chúng không bị oxy hóa, không có lớp phủ nào bị bong tróc, và cũng không có kim loại nào bị gỉ sét. Nhờ vậy, bề mặt wafer luôn được giữ sạch sẽ.
Những điều người ta không chịu nói ra
Việc sử dụng ánh sáng hồng ngoại cường độ cao sẽ tạo ra lượng nhiệt lớn. Thạch anh có thể chịu được điều này, nhưng khung máy thì sao? Khung máy sẽ hấp thụ toàn bộ nhiệt lượng đó. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh để loại bỏ nhiệt lượng từ đèn, các kết nối của máy sẽ bị hỏng. Nếu lưu lượng không khí quá thấp, tuổi thọ của đèn sẽ bị rút ngắn. Chúng tôi thiết kế các bộ phận thay thế này sao cho chúng có thể thay thế dễ dàng cho các thiết bị hiện có. Chỉ cần kết nối chúng với đèn, điều chỉnh khoảng cách giữa đèn và wafer, là xong. Bạn sẽ có được môi trường xử lý ổn định, và quan trọng nhất là không có sự ô nhiễm nào xảy ra.