Hãy ngừng việc tạo ra ozone trong phòng sản xuất của bạn đi!
Thành thật mà nói, việc dọn dẹp sau khi sử dụng thiết bị chính là khâu khó khăn nhất trong quy trình sản xuất. Trong ngành sản xuất bán dẫn, chúng ta đều mong muốn giảm thiểu lượng khí thải xuống mức tối thiểu. Nhưng nếu bạn sử dụng các loại đèn hồng ngoại thông thường hoặc lò sấy kiểu đối lưu, bạn chắc hẳn đã gặp phải vấn đề này. Những chiếc đèn này phát ra ánh sáng trong khoảng bước sóng 185–254nm, điều này khiến không khí trong phòng sạch trở thành “nhà máy sản xuất ozone”.
Ozone thực sự là một mối đe dọa. Nó có thể phá hủy các linh kiện điện tử, và khiến hệ thống lọc khí phải hoạt động liên tục để giúp không khí vẫn có thể được sử dụng. Đó là một cuộc chiến không ngừng nghỉ.
Giải quyết vấn đề từ gốc rễ
Chúng tôi quyết định không chỉ xử lý các triệu chứng mà còn tìm cách giải quyết nguyên nhân gây ra vấn đề. Bằng cách sử dụng các bộ lọc thạch anh chuyên dụng và kiểm soát chặt chẽ nhiệt độ của sợi dây đèn, chúng tôi có thể thay đổi dải bước sóng phát ra. Nhờ đó, chúng ta có thể loại bỏ hoàn toàn dải bước sóng VUV. Kết quả là bạn vẫn có đủ nhiệt độ cần thiết để làm khô chất keo hoặc chất phản ứng quang học, nhưng lại không phải đối mặt với các chất phụ phẩm độc hại. Đây là một quy trình sạch hơn, vì nó được thiết kế như vậy ngay từ đầu, chứ không phải vì chúng ta chỉ lắp thêm các bộ lọc đắt tiền vào cuối quy trình.
Cung cấp nhiệt ở nơi cần thiết
Phương pháp sưởi ấm kiểu đối lưu giống như việc cố gắng làm nóng một hạt đậu bằng cách làm nóng cả căn bếp. Đó là sự lãng phí năng lượng. Các đèn hồng ngoại của chúng tôi thì khác. Chúng tác động trực tiếp lên bề mặt vật liệu cần được xử lý. Quá trình này diễn ra rất nhanh. Điều này có nghĩa là thiết bị sấy của bạn có thể được thiết kế nhỏ gọn hơn nhiều. Tuy nhiên, bạn cần chú ý rằng ánh sáng hồng ngoại công suất cao có thể làm biến dạng vật liệu nếu bạn không cẩn thận. Bạn cần điều chỉnh tốc độ di chuyển của vật liệu và khoảng cách giữa đèn và vật liệu để đảm bảo hiệu suất mong muốn mà không làm hư hại vật liệu.
Lắp đặt dễ dàng
Điều tuyệt vời nhất là những chiếc đèn này có thể thay thế ngay lập tức. Bạn không cần phải sửa đổi toàn bộ hệ thống điện; chúng hoạt động bằng nguồn điện công nghiệp hiện có. Và vì bạn không còn phải đối mặt với ozone nữa, nên vỏ đèn cũng không cần phải được chế tạo từ những vật liệu chống ăn mòn đắt tiền nữa. Điều này giúp bạn tiết kiệm khá nhiều chi phí trong thời gian dài.
Xin hãy kiểm tra lại vị trí của bộ phản xạ ánh sáng mỗi 6 tháng một lần. Việc này chỉ mất một phút thôi, nhưng nó giúp đảm bảo rằng nhiệt độ được phân bố đều trên bề mặt wafer.