Як зберегти чистоту поверхні пластини під час її обробки (та зберегти свій розум у твердому стані)
Якщо ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, ви вже знаєте, що це означає. Одна-єдина крихітка газу чи частинка, яка вилітає з лампи, може зруйнувати всю партію продукції. Коли ми проектуємо рефлектори та нагрівальні лампи для обробки пластин, ми поставляємося з однією метою – переконатися, що ніщо не потрапить на поверхню кремнію.
Секрет полягає у кварці
Ми використовуємо синтетичний кварц високої чистоти для цих ламп. Чому? Тому що звичайне скло просто не витримує такої температури – воно тріскається від теплового удару. Але кварц інший. Він діє як прозоре скло для інфрачервоного випромінювача, дозволяючи короткохвильовому випромінюванню проходити крізь нього без поглинання. Щоб енергія потрапляла саме туди, куди потрібно, ми поєднуємо лампу з рефлектором з кварцу, виготовленим з високою точністю. Це дозволяє енергії не розсіюватися в повітрі, а повертатися прямо на пластину. Це ефективно та ефективно.
Як уникнути „снігопаду“
Проблема зі звичайними металевими рефлекторами полягає у тому, що вони поступово окислюються та руйнуються. У чистій кімнаті це є справжньою катастрофою. Ми називаємо цей ефект „снігопадом“, і це останнє, чого ви хочете під час процедури обробки. Саме тому ми використовуємо рефлектори з кварцу високої чистоти. Вони хімічно інертні – у них немає шарів, які можуть відшаруватися, та немає металів, які можуть іржавіти. Вони залишаються чистими.
Компроміси (те, про що вам ніхто не каже)
Високоякісна інфрачервона обробка створює велику кількість тепла. Кварц може це витримати, але що буде з корпусом лампи? Це вже інша справа. Корпус буде поглинати все це тепло. Якщо система охолодження недостатньо потужна, контактори лампи будуть пошкоджені. Якщо потік повітря занадто слабкий, це скоротить термін служби лампи. Ми розробили ці пристрої так, щоб їх можна було легко замінити на ті, які ви вже використовуєте. Просто підключіть їх, встановіть правильну відстань до пластини – і все готово. Ви отримаєте стабільний температурний профіль, а ще важливіше – повну відсутність забруднень.