На виробничій лінії ви знаєте, наскільки швидко одна-єдина пляма від вологого чищення чи дефект на поверхні фоторезисту можуть зруйнувати цілий вантаж продукції. Саме на етапах термообробки залежить якість готової продукції – чи залишиться вона стабільною, чи ні. Ми створили цей автоматичний обігрівач для сушіння пластин, який дозволяє контролювати температуру з точністю до ±0,1°C. Така однорідність сприяє стабільності критичних розмірів та зменшує утворення дефектів на поверхні пластин. Камера призначена для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100; її поверхні поліровані, а потік повітря є ламінарним, що дозволяє уникнути утворення частинок. Налаштування температури, швидкості нагрівання та часу перебування пластин у камері забезпечують стабільність процесу обробки.
Чому цей пристрій ефективний саме там, де це необхідно
Під час сушіння пластин пристрій швидко видаляє розчинники без перевищення заданої температури, що допомагає уникнути руйнування структури пластини. Цей же пристрій може використовуватися для м’якої та жорсткої термообробки, що покращує адгезію та селективність процесу травлення. Швидка реакція пристрою на зміни температури та ефективне управління енергоспоживанням дозволяють знизити витрати енергії. Надійність пристрою також зменшує кількість непланових зупинок. Результатом є вища якість готової продукції, кращий контроль розмірів пластин та менше необхідності в корекціях.
Деталі, які забезпечують ефективну роботу пристрою
Обігрівач інтегрується з системами SECS/GEM та стандартними пристроями для обробки пластин. Однак повна ефективність залежить від правильного підбору параметрів відведення повітря, температури охолоджувальної рідини та напруги живлення. Обов’язково переконайтеся, що у вас є система відведення повітря, придатна для роботи в чистих приміщеннях, а розміри пластин та пристрою відповідають один одному. Якщо всі ці деталі будуть правильно налаштовані, пристрій буде працювати як слід – зміну за зміною.