На лінії 300 мм процес тоншення пластин безпосередньо перед різкою – це момент, коли тепловий стрес перетворюється на втрати виходу продукції. Підтримувальний нагрівач, який зміщується або дає піки під час зворотного шліфування, може тріснути тонкі пластини та ініціювати мікротріщини, які згодом проявляються як відмови. Ми розробили підтримувальний нагрівач для зворотного шліфування, щоб усунути цю невизначеність і забезпечити стабільне та рівномірне нагрівання там, де підкладка найбільш вразлива.
Ядро нагрівача – це масив кварцових випромінювачів короткохвильового інфрачервоного діапазону, налаштований для швидкого локального нагрівання з рівномірністю на рівні пластини ±0,1°C. Повторюваність температури утримується в межах ±0,5°C під час змін та протягом усього ресурсу ламп, що гарантує відповідність теплового бюджету для кожної пластини. Гаряча зона ізольована від механічної платформи, що забезпечує практично нульове утворення часток.
Пристрій має рейтинг чистоти чистої кімнати Class 1–100, а всі поверхні в тепловому ланцюгу спроектовані для мінімізації дегазації та осипання.
У процесі зворотного шліфування необхідно подавати тепло для зняття напруг і підтримки адгезії, не розм’якшуючи фоторезист або не пошкоджуючи плівки кінцевих шарів. Наш нагрівач досягає заданої температури за секунди, утримує стабільну температуру при змінних навантаженнях шпинделя та працює цілодобово без непланових простоїв. Результатом є менша кількість сколів по краях, менший відсоток браку та стабільний контроль товщини по всьому лоту.
Встановлення зводиться до відповідності розмірів інтерфейсів патрона та носія. Існують комплекти для модернізації поширених платформ, але допуски на вирівнювання суворі. Рекомендується запланувати короткий кваліфікаційний прогін для налаштування PID-профілю під вашу структуру плівок і режим роботи шпинделя.
Після калібрування технологічне вікно відкривається — і залишається відкритим.