Op de productiehal is het SRD-proces een snel en intensief proces: spoelen, drogen en vasthouden. Als de IR-lamp niet meer goed werkt, merk je dat meteen: er ontstaan vlekken op de wafers, er zijn partikels die zich niet op de juiste plek bevinden, en de kwaliteit van de fotoresist verbetert pas na uren. We hebben onze SRD-infraroodlamp zo ontworpen dat deze 7×24 uur per dag kan werken, zonder dat dit tot problemen leidt.
Wat belangrijk is, is dat het om kortegolf-infraroodlicht gaat, dat wordt gegenereerd door kwartscomponenten met een snelle respons. De responstijd is minder dan een seconde, zodat er een goede thermische uniformiteit over de hele oppervlakte van de wafer wordt behouden. Tijdens de droogfase wordt de temperatuur nauwkeurig op ±0,1°C gehouden, waardoor de integriteit van de fotoresist behouden blijft na het drogen. De lamp werkt goed in omgevingen van klasse 1–100: er worden geen partikels geproduceerd, en de afgesloten behuizing voorkomt uitstoot en vervuiling. Je kunt rekenen op meer dan 5.000 uur gebruik met minder dan 5% intensiteitsverlies, zonder onverwachte storingen tijdens het continu gebruik.
De SRD-lamp heeft een beperkt thermisch budget: het materiaal moet snel worden verhit, gedroogd en weer gereinigd. Hierdoor wordt de droogtijd verkort en blijven de wafers vrij van vlekken. De herhaalbaarheid wordt verbeterd, omdat de temperatuur bij elke keer gebruik dezelfde blijft. Ook de energieverbruik neemt af: dankzij de snelle reactietijd en efficiënte aansluiting is de piekbelasting lager. Minder vervangingen van de lamp betekent minder onderbrekingen en meer beschikbaarheid van de productielijn.
Een paar praktische tips: de lamp moet passen bij de geometrie van de SRD-kamer en de compensatiefuncties van de controller. Als de reflectoren niet goed werken of de metingen van de pyrometer niet kloppen, zal de ingestelde temperatuur afwijken. Plan de mechanische integratie en koeling goed van tevoren, en zorg ervoor dat de lamp geschikt is voor de omgeving met oplosmiddelen en zuren. Zorg voor correcte alignering en kalibratie, zodat de lamp dag in dag uit optimaal functioneert. Geen uitzonderingen.