Op de fab floor is temperatuurafwijking tijdens het bakken van photoresist of een halfgedroogde wafer na reiniging geen academische kwestie. Het is afval. We hebben onze infrarood golflampen gebouwd op 1μm en 2μm om de thermische controle binnen het procesvenster te houden, zelfs wanneer de wachtrij vol is en de omgeving zijn best doet om je in de weg te zitten.
Wat er onder de motorkap telt
Deze lampen geven gerichte NIR af op 1μm en 2μm, afgestemd op hoe waterfilmpjes en de polymeerchemie in lithografie en verpakking daadwerkelijk absorberen. De emittergeometrie en reflectorontwerp zorgen voor thermische uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C, wat de kritische dimensies beschermt en de profielen onder controle houdt.
Ze zijn klaar voor cleanroom Klasse 1–100, gebouwd met lage uitgassingsmaterialen en een architectuur die deeltjes minimaliseert. Nul deeltjesgeneratie is hier geen slogan - het is een harde ontwerpeis. Het systeem draait 24/7 met herhaalbare opwarmprofielen, en de output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uren met minder dan 5% daling.
Waarom het in de praktijk standhoudt
Bij het drogen van wafers en de stappen voor reinigen en drogen, verwijdert de 1μm en 2μm energie snel resterende vochtigheid zonder het substraat te koken. Dat betekent minder herwerk en een schonere filmintegriteit.
Voor photoresist behandelen dezelfde lampen soft bake en hard bake met strikte temperatuurherhaalbaarheid, wat de ruigheid van de lijnranden verbetert en defecten vermindert. In de verpakking leveren ze snelle, uniforme uitharding die de cyclusduur verkort terwijl ze minder energie verbruiken. De opbrengst is een hogere opbrengst, voorspelbare prestaties en minder onderhoudsintervallen.
Waar je op moet plannen
Deze lampen hebben een specifieke stroomprofiel en nauwkeurige thermische koppeling naar de doelstelling nodig. Ze zullen integreren met de meeste standaard halfgeleiderapparatuur, maar je moet de integratietoleranties tijdens de installatie bevestigen om hotspots te vermijden en de opgegeven uniformiteit te behalen.
Plan een korte inbedrijfstellingsronde om de opwarmingssnelheden en verblijftijden voor jouw exacte recepten vast te leggen.