Menjaga Kebersihan Permukaan Wafer Semasa Proses Pemanggilan (Dan Mempertahankan Ketenangan Fikiran Anda)
Jika anda beroperasi di bilik bersih kelas 100, anda pasti tahu betapa sukarnya untuk memastikan kebersihan permukaan wafer. Sebarang zarah kecil yang terlepas dari lampu atau bahan kimia yang keluar dari lampu tersebut boleh merosakkan keseluruhan produk yang diproses. Apabila kita merancang reflektor dan lampu pemanas untuk proses pemanggilan wafer, tujuan utamanya adalah untuk memastikan tiada apa-apa yang dapat merosakkan permukaan silikon tersebut.
Rahsianya Terletak pada Kuarsa
Kita menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi untuk lampu-lampu ini. Mengapa? Kerana kaca biasa tidak mampu menahan haba yang tinggi; ia akan retak akibat tekanan haba. Namun, kuarsa berbeza. Ia berfungsi seperti tingkap yang jernih bagi pancaran inframerah, membolehkan radiasi gelombang pendek melaluinya tanpa diserap. Untuk memastikan haba sampai ke tempat yang sepatutnya, kita menggunakan reflektor kuarsa yang diproses dengan teliti. Dengan cara ini, tenaga haba dapat dikembalikan ke permukaan wafer. Cara ini sangat efisien.
Hentikan Keadaan “Salji”
Reflektor logam biasa akan mengalami pengoksidan dari masa ke masa, sehingga ia mula terurai. Di bilik bersih, ini merupakan bencana besar. Kita menyebutnya sebagai efek “salji”. Ini merupakan perkara terakhir yang ingin berlaku semasa proses pemanggilan. Itulah sebabnya kita menggunakan reflektor kuarsa berkualiti tinggi. Ia tidak mudah teroksida, dan tiada lapisan yang boleh terkelupas atau logam yang boleh berkarat. Ia tetap kekal bersih.
Kompromi yang Perlu Dipertimbangkan
Proses pemanggilan menggunakan inframerah bertekanan tinggi akan menghasilkan haba yang sangat banyak. Kuarsa mungkin mampu menahan haba tersebut, tetapi komponen lain dalam sistem pemanasan? Itu cerita yang berbeza. Komponen tersebut akan menyerap haba tersebut. Jika sistem penyejukan tidak cukup kuat untuk mengeluarkan haba tersebut, sambungan antara komponen akan rosak. Jika aliran udara terlalu rendah, umur lampu akan berkurangan. Kami merancang agar komponen ini mudah digantikan dengan komponen yang sudah ada. Cukup sambungkannya sahaja, tetapkan jaraknya dengan wafer, dan semuanya akan berjalan lancar. Anda akan mendapat suhu yang stabil, dan yang lebih penting, tiada pencemaran sama sekali.