Jadikan Kilang Semikonduktor Anda Lebih “Pintar” Dengan Penggunaan Inframerah UHP
Jika anda mengendalikan kilang semikonduktor moden, pasti anda sudah tahu bahawa lampu pemanas berkuasa Ultra High Purity (UHP) merupakan komponen penting untuk menghasilkan tenaga haba yang diperlukan. Namun, sekadar memiliki haba sahaja sudah tidak mencukupi lagi. Dengan perkembangan Industri 4.0, elemen pemanas perlu melakukan lebih daripada sekadar memanaskan bahan tersebut. Ia perlu berfungsi secara efektif dalam proses pengeluaran.
Memastikan Suhu yang Tepat
Kami menggunakan inframerah gelombang pendek kerana ia sangat cepat. Ia mengurangkan masa yang diperlukan untuk mencapai suhu yang diinginkan setelah suis kuasa dihidupkan. Apabila bekerja dengan wafer berukuran 300mm, kita tidak boleh membiarkan adanya kawasan yang terlalu panas atau sebaliknya; suhu haruslah sama rata di seluruh permukaan wafer. Kami menyelesaikan masalah ini dengan menyesuaikan kuasa dan voltan agar sesuai dengan jenis tiub kuarsa yang digunakan. Walaupun sistem berkuasa tinggi sangat berguna untuk meningkatkan kelajuan pengeluaran, namun perlu berhati-hati. Pastikan bekalan kuasa mampu menanggung arus yang tinggi tersebut. Jika tidak, litar akan terputus setiap kali sistem dihidupkan semula. Tiada siapa yang ingin hal ini berlaku.
Menjaga Kebersihan dan Menggunakan Teknologi Digital
Dalam kilang semikonduktor, sedikit saja kotoran boleh merosakkan produk yang dihasilkan. Itulah sebabnya kami menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi – ia dapat mencegah gas berbahaya daripada keluar dan merosakkan produk. Namun, keajaiban sebenarnya berlaku apabila kita menggantikan sistem kawalan analog lama dengan sistem kawalan PID dan sensor digital. Dengan cara ini, data suhu dapat disalurkan secara langsung ke sistem MES. Ini sangat membantu. Anda boleh memerhatikan bagaimana filamen lampu tersebut rosak dari masa ke masa. Daripada berharap lampu tidak akan rosak semasa proses pengeluaran, sistem ini akan memberi amaran agar lampu tersebut diganti apabila prestasinya menurun. Sangat mudah.
Realiti yang Perlu Dihadapi
Ada trade-off dalam penggunaan sistem inframerah ini: ia menghasilkan tenaga yang sangat besar dalam ruang yang kecil. Anda tidak boleh sekadar memasangnya dalam kotak lama tanpa membuat sebarang penyesuaian. Suhu yang dihasilkan sangat tinggi. Jika anda tidak menyesuaikan aliran udara dan sistem penyejukan, peralatan akan rosak. Selain itu, jangan lupa tentang kabel penghubung. Anda memerlukan pelindungan yang sesuai untuk mengelakkan gangguan EMI pada sensor. Jika data yang diperoleh bercampur aduk, maka sistem “pintar” tersebut sebenarnya tidaklah begitu pintar.