SRD(스핀 린스 드라이어) 적외선 램프

생산 현장에서 SRD 공정은 매우 빠르고 강력한 처리 과정입니다. 즉, 세척, 건조, 유지보수의 단계가 순차적으로 이루어집니다. 만약 적외선 램프의 성능이 저하된다면, 즉시 알 수 있습니다. 웨이퍼에 스트라이프가 생기거나, 입자가 발생하며, 포토레지스트의 품질도 몇...