SRD スピンリンスドライヤー の赤外線ランプ

製造現場において、SRDサイクルというのは、急速かつ高温で行われるプロセスです。すなわち、洗浄、乾燥、保持という工程が繰り返されます。もしIRランプの動作が遅くなったら、すぐに問題があるとわかります。ウェハーに筋ができたり、粒子が発生したり、数時間後になってからようやくフォトレジストの品質に問題が...