スマートファブにおける適切な加熱の実現
もし産業4.0の環境を目指しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや不十分だということに気づいているはずです。昔ながらの対流式加熱は効率が悪く、まるでキャンドルを使って家を温めるようなもので、時間がかかりすぎます。
そのため、私たちは赤外線加熱システムを利用します。空気の流れを待つ必要がなく、赤外線は直接対象物に熱を送り込みます。数秒で所定の温度に到達できます。これにより、生産ラインの動きが変わります。
加熱を「スマート」にする
スマートファブではデータが重要ですが、赤外線加熱システムはそこにぴったり合います。電圧を調整すると、即座に反応します。PLCと組み合わせれば、センサーとヒーター間でコミュニケーションが取れ、ウェーハや基板が必要とする温度を正確に把握し、即座に調整できます。もう推測する必要はありません。過剰な加熱もなく、不要なエネルギーの無駄遣いもありません。
さらに、設置スペースも小さいです。クリーンルームのスペースは非常に貴重ですからね。赤外線加熱システムなら、小さな装置で大量の熱を得られ、面倒な空気配管も不要です。
注意点（何事にも欠点はある）
ただし、高出力の赤外線アレイはかなりの熱を発生させます。古い筐体にそのまま設置してもうまくいきません。冷却システムが十分でないと、熱がエミッター周辺の部品に伝わり、センサーの精度が低下します。これは避けたい問題です。
なぜこれが最善なのか
もう一つ大きな利点は、空気の乱流がないことです。クリーンルームでは、空気の流れが敵です。それによって粒子が舞い上がり、ISO基準が乱れます。しかし、放射状加熱なら、空気は動かず、部品だけを温めます。その結果、より速い温度上昇、ソフトウェアと連携する設定、そしてより清潔な環境が実現します。自動化された、データ駆動型のファブを目指す人にとって、これが最良の方法です。