Riscaldatore automatico per essiccazione dei wafer
Nelle linee di produzione, si sa quanto possano essere distruttivi eventuali residui di pulizia o difetti presenti sulla superficie dei wafer. Le...
Lampada per la rimozione dell umidità dai wafer
Nelle aree di litografia, anche una piccola quantità di umidità sulla superficie può compromettere il processo di essiccazione del fotorest. Si perde...
Riscaldatore per packaging a livello wafer a ventaglio
Sulla linea FO-WLP, le escursioni di temperatura durante il reflow e l’incapsulamento non si manifestano come guasti evidenti. Si manifestano come...
Riscaldatore di supporto per la rettifica posteriore del wafer
Sulla linea da 300mm, il diradamento del wafer subito prima del dicing è il punto in cui lo stress termico si trasforma in perdita di resa. Un...