फैब फ्लोर पर, वह 300 मिमी आकार का वेफर ट्रैक से निकलकर बेक प्लेट पर आ जाता है। यदि तापमान में कुछ दशमलव डिग्री का भी अंतर हो जाए, तो फोटोरेजिस्ट की संरचना बिगड़ जाती है। ऐसी स्थिति में सीडीएस भी खराब हो सकते हैं। पूरी प्रक्रिया खतरे में पड़ जाती है। इसलिए आवश्यक है कि ऊष्मा ठीक उसी जगह पहुँचे, जहाँ प्रक्रिया के लिए आवश्यक है… कोई अपवाद नहीं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम चीन में ऐसे शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हीटर बनाते हैं, जो सब-मिलीमीटर स्तर तक तापीय समानता सुनिश्चित करते हैं। क्वार्ट्ज एमिटर एरे, कम ऊष्मा-द्रव्यमान वाले सिरेमिक ढाँचे पर स्थित होता है; इसलिए यह तेजी से काम करता है, एवं कुछ ही सेकंड में निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है। बेकिंग सतह पर तापमान समानता ±0.1 °C रहती है, एवं प्रत्येक चक्र में तापमान में 0.2 °C से अधिक का अंतर नहीं होता।
यही वह सीमा है, जो फोटोरेजिस्ट की गुणवत्ता को बनाए रखती है। यह TEOS एवं ऑक्साइड की अखंडता को भी बनाए रखती है, एवं कणों की संख्या में वृद्धि को भी रोकती है। क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप ही ऐसे हीटर बनाए जाते हैं… कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्री, सील्ड जोड़, एवं ऐसी सतह जिस पर कोई खरोंच न हो।
यह क्यों कारगर है?
लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में, वेफर को लगातार गर्म रखना आवश्यक है। हमारे इन्फ्रारेड हीटर, वेफर को बिना किसी गर्म/ठंडे हिस्से के निर्धारित तापमान पर ही रखते हैं… इससे महत्वपूर्ण आयामों पर नियंत्रण बना रहता है। तेज तापीय प्रतिक्रिया से बेकिंग प्रक्रिया जल्दी पूरी हो जाती है, ऊर्जा की खपत कम हो जाती है, एवं उत्पादन दर भी बढ़ जाती है… बिना अत्यधिक तापमान के।
निरंतर बेकिंग प्रक्रिया में कोई कण न बनने से फिल्टर बदलने की आवश्यकता कम हो जाती है… इससे उत्पादन में कमी नहीं आती। परिणामस्वरूप, हर बार वेफर पर एक ही तापमान प्रोफ़ाइल रहती है।
क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
हीटर को चैम्बर के आकार एवं क्लैम्पिंग सिस्टम के अनुरूप ही चुनें। वोल्टेज, कनेक्टरों की स्थिति, एवं गर्म क्षेत्र में उपस्थित खाली जगहों की जाँच अवश्य करें। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हीटर तो गति एवं नियंत्रण प्रदान करते हैं… लेकिन एमिटरों का जीवनकाल सीमित होता है… इसलिए 5,000 से 8,000 घंटों के बाद ही एमिटरों को बदलना आवश्यक है… ताकि उत्पादन में कोई रुकावट न आए।
सबसे अच्छी समानता प्राप्त करने हेतु, प्रमाणित वेफर मैप का उपयोग करके ही एमिटरों को कैलिब्रेट करें… एवं एमिटरों की सतह को साफ रखें। एमिटरों पर मौजूद पतली क्वार्ट्ज परत, तापीय प्रोफ़ाइल को बिगाड़ सकती है।