वेफर ड्राइंग की प्रक्रिया में, आप जानते ही हैं कि थोड़ी सी नमी भी पूरे वेफर को नष्ट कर सकती है। थर्मल प्रक्रियाओं के दौरान ही वेफर की गुणवत्ता निर्धारित होती है। हमने वेफर ड्राइंग, फोटोरेसिस्ट को नरम/कठोर बनाने की प्रक्रियाओं के लिए ऐसा स्वचालित हीटर विकसित किया है; इसमें तापमान को स्थिर रखने हेतु उच्च स्तर का नियंत्रण है।
जो बातें महत्वपूर्ण हैं
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों एवं क्लोज्ड-लूप पायरोमेट्री का उपयोग करके वेफर पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही रखते हैं। ऐसी एकरूपता से वेफर के महत्वपूर्ण आयाम स्थिर रहते हैं, एवं वेफर पर कोई दोष नहीं बनता। चैंबर क्लीनरूम-योग्य है; इसकी सतहें चिकनी हैं, एवं हवा का प्रवाह भी नियंत्रित है, जिससे कोई कण उत्पन्न नहीं होता। तापमान, गति एवं समय-सीमा आदि को नियंत्रित करने हेतु विशेष व्यवस्थाएँ हैं; इससे हर बार एक ही तरह का परिणाम प्राप्त होता है।
यह क्यों कारगर है?
वेफर ड्राइंग की प्रक्रिया में, यह उपकरण वेग से विलायकों को हटा देता है; इससे पैटर्न में कोई बदलाव नहीं होता। यही उपकरण नरम/कठोर बेकिंग प्रक्रियाओं में भी कारगर है; इससे वेफर की चिपकने की क्षमता एवं एटच सिलेक्टिविटी में सुधार होता है। तेज़ थर्मल प्रतिक्रिया एवं ऊर्जा-प्रबंधन से ऊर्जा-खपत कम होती है; इससे अप्रत्याशित रुकावटें नहीं होतीं। इसके परिणामस्वरूप बेहतर उत्पादन, बेहतर गुणवत्ता एवं कम पुनर्कार्य होता है।
जो बातें इस उपकरण को कारगर बनाती हैं
यह हीटर SECS/GEM एवं मानक वेफर हैंडलरों के साथ काम करता है; लेकिन इसका पूर्ण प्रदर्शन आपके स्थान पर उपलब्ध एक्जॉस्ट सिस्टम, कूलंट तापमान एवं वोल्टेज पर निर्भर है। सुनिश्चित करें कि आपके पास क्लीनरूम-योग्य एक्जॉस्ट सिस्टम है, एवं आपके वेफर का आकार एवं कैरियर भी उपकरण के यांत्रिक इंटरफेस के अनुरूप हो। ऐसी व्यवस्थाओं के कारण ही यह उपकरण लगातार कार्य करता रहता है।