अपने वेफरों को साफ रखें… एवं अपना मन भी शांत रखें!
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको इस समस्या का अहसास होगा। थोड़ी सी भी गैस या लैंप से निकलने वाले कण, पूरे उत्पादन प्रक्रम को नष्ट कर सकते हैं। वेफरों को सुखाने हेतु रिफ्लेक्टरों एवं हीटिंग लैंपों का डिज़ाइन करते समय हमारा एक ही लक्ष्य होता है – यह सुनिश्चित करना कि सिलिकॉन की सतह पर कुछ भी न जाए।
रहस्य है क्वार्ट्ज में!
हम ऐसे लैंपों हेतु उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि सामान्य काँच इतनी ऊष्मा को सहन नहीं कर सकता… थर्मल शॉक के कारण वह टूट जाता है।
लेकिन क्वार्ट्ज अलग है… यह इन्फ्रारेड विकिरणों के लिए एक “स्पष्ट खिड़की” की तरह काम करता है… इससे ऊर्जा सीधे वेफर तक पहुँच जाती है… यह बहुत ही प्रभावी तरीका है।
“बर्फबारी” से बचें!
सामान्य धातुओं से बने रिफ्लेक्टरों में समस्या यह है कि वे समय के साथ खराब हो जाते हैं… ऑक्सीकरण के कारण वे टूट जाते हैं।
क्लीनरूम में ऐसी स्थिति वाकई आपदाजनक है… हम इसे “बर्फबारी” प्रभाव कहते हैं… ऐसी स्थिति सुखाने की प्रक्रिया में बिल्कुल भी नहीं चाही जाती। इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज रिफ्लेक्टरों का ही उपयोग करते हैं… ये रासायनिक रूप से अपरिवर्तनीय होते हैं… इन पर कोई कोटिंग नहीं होती, एवं कोई धातु भी नहीं होती… इसलिए ये हमेशा साफ ही रहते हैं।
विकल्प… (वे चीजें जो कोई नहीं बताता!)
उच्च-तीव्रता वाले इन्फ्रारेड विकिरणों से बहुत अधिक ऊष्मा उत्पन्न होती है… क्वार्ट्ज तो इस ऊष्मा को सहन कर सकता है… लेकिन आपका चेसिस? यह तो अलग ही कहानी है…
आपका चेसिस उस ऊष्मा को अपने अंदर ही रख लेगा… यदि आपका कूलिंग सिस्टम पर्याप्त मजबूत न हो, तो आपके कनेक्टर खराब हो जाएँगे… यदि वायु प्रवाह कम हो, तो आपके लैंपों की उम्र कम हो जाएगी…
हमने ऐसे लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है… ताकि वे आपके मौजूदा उपकरणों के लिए आसानी से उपयोग में आ सकें… बस उन्हें जोड़ दें, वेफर तक की दूरी सेट कर दें… फिर आपको स्थिर ऊष्मा प्राप्त होगी… एवं सबसे महत्वपूर्ण बात – कोई संदूषण ही नहीं होगा।