अपने उत्पादन संयंत्रों में ओज़ोन के निर्माण को रोकें।
सच कहें तो, अपने उपकरणों की सफाई करना ही इस काम का सबसे कठिन हिस्सा है।
अर्धचालक उत्पादन में, हम सभी शून्य उत्सर्जन की दिशा में प्रयास कर रहे हैं। लेकिन यदि आप सामान्य IR लैंपों या कन्वेक्शन ओवनों का उपयोग कर रहे हैं, तो आपने शायद एक समस्या का सामना किया होगा। ऐसे लैंप 185-254 नैनोमीटर वाली तरंगदैर्घ्यों पर काम करते हैं, जिससे क्लीनरूम में मौजूद हवा में ओज़ोन बनने लगता है।
ओज़ोन एक बड़ी समस्या है… यह आपके सर्किटों को नष्ट कर देता है, और HVAC सिस्टम को लगातार काम करने पर मजबूर करता है, ताकि हवा साँस लेने योग्य रहे। यह तो एक लगातार चलने वाला संघर्ष ही है।
ओज़ोन को स्रोत से ही रोकें।
हमने लक्षणों के इलाज के बजाय मूल कारण को ही ठीक करने का निर्णय लिया।
विशेष क्वार्ट्ज फिल्टरों का उपयोग करके, एवं फिलामेंट के तापमान पर नियंत्रण रखकर, हम उत्सर्जन स्पेक्ट्रम को बदल सकते हैं… इस तरह VUV तरंगदैर्घ्यों का उत्सर्जन ही रुक जाता है।
परिणाम? आपको रेजिनों को सूखाने या फोटोरेसिस्टों को सुखाने हेतु आवश्यक ऊष्मा तो मिलती ही है, लेकिन कोई हानिकारक रासायनिक पदार्थ नहीं बनता। यह तो एक अधिक स्वच्छ प्रक्रिया है… क्योंकि यह शुरुआत से ही ऐसे ही डिज़ाइन की गई है… न कि बाद में कुछ महंगे फिल्टर लगाकर।
वहीं ऊष्मा दें, जहाँ वास्तव में आवश्यक है।
कन्वेक्शन हीटिंग तो ऐसी ही है… जैसे पूरे रसोईघर को गर्म करके एक ही दाने को गर्म करने की कोशिश करना। यह तो ऊर्जा का अपव्यय ही है।
हमारे IR लैंप तो अलग ही हैं… ये सीधे ही सब्सट्रेट पर ऊष्मा देते हैं… यह बहुत ही तेज़ है। इसका मतलब है कि आपका ड्रायिंग स्टेशन भी छोटा ही रहेगा।
लेकिन एक बात ध्यान में रखें… उच्च-तीव्रता वाले IR लैंप बहुत ही शक्तिशाली होते हैं… यदि सब्सट्रेट पतला है, तो सावधान न रहने पर वह विकृत हो सकता है… आपको अपने कन्वेयर की गति एवं लैंप की दूरी को ठीक करने हेतु थोड़ा समय लेना होगा… ताकि आपको वांछित परिणाम मिल सके, एवं सामग्री पर कोई नुकसान न हो।
इन्हें आसानी से लगा दें।
सबसे अच्छी बात यह है कि ये तो बस बदलने योग्य ही हैं… आपको अपने संयंत्र की पूरी व्यवस्था को फिर से व्यवस्थित करने की आवश्यकता ही नहीं है… ये तो आपकी मौजूदा औद्योगिक व्यवस्था में ही काम करते हैं।
और चूँकि अब आपको ओज़ोन की कोई समस्या ही नहीं है, इसलिए आपके लैंपों को ऐसी महंगी, भारी एवं क्षय-प्रतिरोधी सामग्रियों से बनाने की आवश्यकता ही नहीं है… इससे आपको समय के साथ काफी बचत होगी।
कृपया, हर छह महीने में अपने रिफ्लेक्टरों की जाँच जरूर करें… इसमें तो सिर्फ एक मिनट ही लगेगा… लेकिन इससे आपके वेफर पर ऊष्मा समान रूप से वितरित होगी।