फैब फ्लोर पर, SRD चक्र एक तेज़ एवं गर्मी-संबंधी प्रक्रिया है – धोना, सुखाना, रखना। यदि IR लैम्प में कोई समस्या आ जाती है, तो इसका पता तुरंत ही चल जाता है – वेफरों पर दाग आ जाते हैं, कणों की संख्या में वृद्धि हो जाती है, एवं फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता में कमी आ जाती है; ऐसी समस्याएँ घंटों बाद ही सामने आती हैं। हमने अपने SRD इन्फ्रारेड लैम्प को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वह 7×24 घंटे लगातार काम कर सके, बिना किसी समस्या के।
यहाँ महत्वपूर्ण बात यह है कि यह शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैम्प है, जो तेज़ गति से काम करने वाले क्वार्ट्ज तत्वों द्वारा संचालित होता है। इसकी प्रतिक्रिया सेकंडों में ही हो जाती है, एवं चक्क के ऊपर तापमान संतुलित रहता है। सुखाने के चरण में, वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है; इससे फोटोरेसिस्ट की गुणवत्ता बनी रहती है। यह लैम्प क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी काम कर सकता है – कोई कण नहीं उत्पन्न होता, एवं सील्ड हाउसिंग के कारण गैसें एवं संदूषण बाहर नहीं आ पाते। इस लैम्प के द्वारा 5,000+ घंटे तक लगातार काम किया जा सकता है, एवं तीव्रता में 5% से भी कम की कमी आती है; लगातार कार्य करने में कोई समस्या नहीं आती।
SRD के लिए तापीय नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है – जल्दी से गर्म करना, सुखाना, फिर फिर से ऐसा ही करना। यह लैम्प सुखाने की प्रक्रिया को तेज़ करता है, इसलिए चक्र समय कम हो जाता है, एवं वेफरों पर कोई दाग नहीं आता। पुनरावृत्ति क्षमता भी बेहतर हो जाती है, क्योंकि हर बार तापमान समान ही रहता है। ऊर्जा उपयोग भी कम हो जाता है – तेज़ गति एवं कुशल कपलिंग के कारण ऊर्जा की मांग कम रहती है। कम लैम्प बदलने की आवश्यकता होती है, इसलिए प्रोडक्शन प्रक्रिया में कोई व्यवधान नहीं आता।
कुछ व्यावहारिक बातें… लैम्प को SRD चैंबर की ज्यामिति एवं कंट्रोलर के एमिसिविटी कॉम्पेन्सेशन से मेल खाना आवश्यक है। यदि रिफ्लेक्टरों में कोई समस्या हो या पाइरोमीटर के पढ़ने में कोई त्रुटि हो, तो सेटपॉइंट में बदलाव हो जाता है। इंटीग्रेशन के दौरान मैकेनिकल इंटरफेस एवं कूलिंग प्रणाली की योजना अच्छी तरह बनानी आवश्यक है; साथ ही, सॉल्वेंट एवं एसिड वाले वातावरण में भी इस लैम्प का उपयोग संभव है। सही तरीके से अलाइनमेंट एवं कैलिब्रेशन करने से यह लैम्प हर दिन ठीक ही काम करता है – कोई अपवाद नहीं।