V prostorách výroby se ten 300 mm velký destička vykládá z dráhy na desku určenou k zahřívání. I náznak poklesu teploty o pár desetin stupně může způsobit, že profil fotorezistentu se začne měnit. CD se posunou z místa. Celý proces je tedy najednou v nebezpečí. Je potřeba, aby teplo působilo přesně tam, kde to proces vyžaduje – bez výjimek.
Co je z hlediska techniky důležité
V Číně vyrábíme komponenty pro krátkovlnné infračervené ohřívače, které zajišťují rovnoměrnost teplotního pole až na úrovni pod milimetrové. Kvartová matice emitérů je umístěna na keramickém tělese s nízkou tepelnou hmotností, takže se rychle nastaví na správnou teplotu – během několika sekund dosáhne požadované hodnoty bez překročení této hodnoty. Na celé ploše určené k zahřívání dosahujeme rovnoměrnosti ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost zůstává pod 0,2 °C mezi jednotlivými cykly.
Právě tento rozmezí zajišťuje, že proces zahřívání probíhá v rámci povolených teplotních hodnot. To chrání integritu TEOSu a oxidů a zároveň zabraňuje nárůstu počtu částic. Kompatibilita s čistými prostory třídy 1–100 je samozřejmostí: používají se materiály s nízkou mírou uvolňování plynů, uzavřené spoje a povrchová úprava, která neodpadává.
Proč to funguje tam, kde je to důležité
V jednotkách určených k nanášení vrstev a jejich zahřívání proces nikdy neustává. Naše infračervené ohřívače udržují destičku na správné teplotě, bez „horkých míst“ nebo chladných okrajů. Díky tomu zůstává kontrola rozměrů a úhlů stran v požadovaných mezích. Rychlá reakce ohřívačů zkracuje dobu zahřívání, snižuje spotřebu energie a zvyšuje kapacitu výroby – aniž by se zvyšovaly maximální teploty.
Nulová produkce částic během celé doby zahřívání znamená méně změn filtrů, méně přerušení procesu a vyšší výtěžnost. Výsledkem je prediktovatelnost: stejný profil teplot na destičce číslo 1 i na destičce číslo 1000, série za sérií.
Na co je potřeba dávat pozor
Je potřeba sladit ohřívač s rozměry komory a systémem upevnění. Pečlivě zkontrolujte napětí, orientaci konektorů a prostor v horké zóně. Krátkovlnné infračervené světlo poskytuje rychlost a kontrolu, ale životnost emitérů je omezená – plánujte výměnu po 5 000 až 8 000 hodinách, abyste nebyli překvapeni přestávkami v provozu.
Pro co nejlepší rovnoměrnost je potřeba kalibrace pomocí certifikované mapy destiček a udržování čistoty emitérů. Tenká vrstva kvarcu na emitérech může rychle narušit profil teplot.