V prostředí výroby čipů víte, jak rychle může jediná skvrna zbytků špíny nebo defekt na povrchu fotorezistu zničit celou várku čipů. Právě během tepelných zpracování závisí kvalita výsledku – buď zůstane stabilní, nebo se zhorší. Sestrojili jsme tento automatizovaný ohřevací systém určený k sušení čipů, stejně jako k měkkému a tvrdému zpracování fotorezistu – s možností kontroly teploty s potřebnou přesností, kterou vyžaduje litografie.
Co je důležité uvnitř zařízení
Používáme emitory krátkovlnného infračerveného záření a systém pyrometrie s uzavřenou smyčkou, abychom udrželi teplotu v rozmezí ±0,1 °C po celé ploše čipu. Tato rovnoměrnost zajišťuje stabilitu kritických rozměrů čipu a snižuje vznik povrchových defektů. Komora je vhodná pro provoz v čistých prostorách třídy 1–100 – s vybroušenými povrchy a laminárním průtokem vzduchu, aby nedocházelo k vzniku částic. Nastavení teploty, rychlosti zahřívání a doby zpracování zajišťuje, že každé zpracování probíhá stejně jako to předchozí.
Proč to funguje tam, kde je to důležité
Při sušení čipů tento systém rychle odstraňuje rozpouštědla, aniž by došlo k jejich nadměrnému uvolnění, což pomáhá zabránit kolapsu struktury čipu. Stejná platforma umožňuje zpracování jak v měkkém, tak i v tvrdém režimu, s konzistentním tepelným režimem, což zlepšuje adhezi a selektivitu leptání. Rychlá reakce na změny teploty a efektivní řízení spotřeby energie snižují spotřebu energie. Spolehlivost zařízení zase snižuje dobu neplánovaných výpadků. Výsledkem je vyšší kvalita čipů při prvním zpracování, lepší kontrola rozměrů čipů a méně oprav.
Detaily, které zajišťují správné fungování
Ohřevací systém se integruje s systémy SECS/GEM a standardními zařízeními na manipulaci s čipy. Avšak plné fungování závisí na tom, zda jsou odvod ventilačního vzduchu, teplota chladicí kapaliny a napětí připojení přizpůsobeny vašim podmínkám. Ujistěte se, že máte odvod ventilačního vzduchu vhodný pro čisté prostory, a zkontrolujte, zda velikost čipů a jejich nosič odpovídají mechanickým požadavkům zařízení. Pokud budou tyto detaily správně nastaveny, zařízení bude fungovat tak, jak má – shift po shiftu.