আপনার ফ্যাব্রিকে ওজোন উৎপন্ন হওয়া বন্ধ করুন।
সত্যি বলতে, যন্ত্রপাতি পরিষ্কার করাই এই কাজের সবচেয়ে কঠিন অংশ।
সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনে আমরা সবাই শূন্য নির্গমনের লক্ষ্য রাখি। কিন্তু যদি আপনি সাধারণ আইআর ল্যাম্প বা কনভেকশন ওভেন ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই একটি সমস্যার সম্মুখীন হয়েছেন। এই ল্যাম্পগুলো ১৮৫-২৫৪ ন্যানোমিটার তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলো নির্গত করে; ফলে ক্লিনরুমের বাতাসটি ওজোন উৎপন্ন করে।
ওজোন খুবই বিপজ্জনক। এটি আপনার সার্কিটগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত করে; আর বাতাসকে ব্যবহারযোগ্য রাখার জন্য আপনার HVAC সিস্টেমকে অতিরিক্ত পরিশ্রম করতে হয়। এটা একটি ধারাবাহিক সমস্যা।
উৎস থেকেই ওজোন নির্মূল করা
আমরা সিদ্ধান্ত নিয়েছি যে শুধুমাত্র লক্ষণগুলো নিরাময় করার পরিবর্তে মূল কারণটিই সমাধান করা হবে।
বিশেষ ধরনের কোয়ার্টজ ফিল্টার ব্যবহার করে এবং ফিলামেন্টের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে আমরা নির্গমন স্পেকট্রামটিকে পরিবর্তন করি। এর ফলে VUV (ভ্যাকুয়াম আল্ট্রাভায়োলেট) তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলো সম্পূর্ণরূপে বন্ধ হয়ে যায়।
ফলাফল? আপনি রেজিন শুকানো বা ফটোরেসিস্ট শুকানোর জন্য প্রয়োজনীয় তাপ পাবেন; কিন্তু কোনো বিপজ্জনক রাসায়নিক পদার্থ উৎপন্ন হবে না। এটা একটি পরিচ্ছন্ন প্রক্রিয়া—কারণ এটা শুরু থেকেই এভাবেই ডিজাইন করা হয়েছে; শুধুমাত্র ব্যয়বহুল ফিল্টার ব্যবহার করে নয়।
যেখানে প্রয়োজন সেখানেই তাপ সরবরাহ করা হয়
কনভেকশন হিটিং হলো পুরো রান্নাঘর গরম করে একটি ডাল গরম করার মতো—এটা শক্তির অপচয়।
আমাদের আইআর ল্যাম্পগুলো ভিন্ন। এগুলো সরাসরি সাবস্ট্রেটকে গরম করে। এটা খুবই দ্রুত হয়। ফলে আপনার ড্রাইং স্টেশনটি অনেক ছোট হতে পারে।
তবে একটি বিষয় মনে রাখবেন: উচ্চ-তীব্রতার আইআর ল্যাম্পগুলো খুবই শক্তিশালী। যদি আপনার সাবস্ট্রেটটি পাতলা হয়, তাহলে সাবধান না হলে এটি বিকৃত হয়ে যেতে পারে। আপনার কনভেয়ারের গতি ও ল্যাম্পের দূরত্ব ঠিক করতে কিছুটা সময় ব্যয় করুন, যাতে আপনি প্রয়োজনীয় ফলাফল পান এবং উপকরণটি ক্ষতিগ্রস্ত না হয়।
ব্যবহার করা খুবই সহজ
সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো, এগুলো সরাসরি বদলানো যায়। আপনাকে পুরো সিস্টেমটি পুনর্নির্মাণ করার দরকার নেই; এগুলো আপনার বিদ্যমান ইন্ডাস্ট্রিয়াল পাওয়ার দিয়েই চলে।
আর যেহেতু আপনাকে আর ওজোন নিয়ে চিন্তা করতে হবে না, তাই আপনার ল্যাম্পগুলোর জন্য অতিরিক্ত মজবুত ও ক্ষয়রোধী উপকরণ ব্যবহার করার দরকার নেই। এতে সময়ের সাথে সাথে আপনার খরচও কমে যাবে।
অনুগ্রহ করে প্রতি ছয় মাসে একবার রিফ্লেক্টরটি পরীক্ষা করুন। এতে মাত্র এক মিনিট সময় লাগে; এটা নিশ্চিত করে যে ওয়েফারটির উপর তাপ সমানভাবে বণ্টিত হচ্ছে।