ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেসিস্ট বেকের সময় তাপমাত্রার বিচলন বা পরিস্কারের পরে অর্ধশুকনো ওয়েফার একাডেমিক নয়। এটি স্ক্র্যাপ। আমরা আমাদের ইনফ্রারেড ওয়েভ ল্যাম্পগুলো 1μm এবং 2μm এ তৈরি করেছি যাতে প্রক্রিয়ার উইন্ডোর মধ্যে তাপীয় নিয়ন্ত্রণ রাখা যায়, এমনকি যখন কিউ ব্যাকড আপ হয় এবং পরিবেশ আপনাকে বিঘ্নিত করার জন্য সর্বোচ্চ চেষ্টা করছে।
এর আড়ালে কি গুরুত্বপূর্ণ এই ল্যাম্পগুলো 1μm এবং 2μm এ লক্ষ্যযুক্ত NIR নির্গত করে, যা আসলে কিভাবে জল ফিল্ম এবং লিথোগ্রাফি ও প্যাকেজিংয়ে পলিমার রসায়ন শোষণ করে তার সাথে মিলিত। এমিটার জিওমেট্রি এবং রিফ্লেক্টর ডিজাইন ওয়েফার স্তরের তাপীয় একরূপতা ±0.1°C এর মধ্যে প্রদান করে, যা গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাকে রক্ষা করে এবং প্রোফাইলগুলোকে নিয়ন্ত্রণে রাখে। এগুলো ক্লিনরুম ক্লাস 1–100 জন্য প্রস্তুত, কম আউটগ্যাসিং উপকরণ এবং এমন একটি আর্কিটেকচার দিয়ে তৈরি যা কণা কমিয়ে আনে। এখানে শূন্য কণা উৎপাদন একটি স্লোগান নয় — এটি একটি কঠোর ডিজাইন প্রয়োজনীয়তা। সিস্টেমটি 24/7 চলমান থাকে পুনরাবৃত্তিযোগ্য র্যাম্প প্রোফাইলের সাথে, এবং আউটপুট 5,000+ ঘণ্টা ধরে স্থির থাকে 5% এরও কম পতনের সাথে। কারণ এটি বাস্তবে সহনশীল ওয়েফার শুকানোর এবং পরিষ্কার-শুকনো ধাপগুলিতে, 1μm এবং 2μm শক্তি অবশিষ্ট আর্দ্রতা দ্রুত নির্মূল করে সাবস্ট্রেটকে রান্না না করেই। এর মানে হল পুনঃকাজ কম এবং ফিল্মের অখণ্ডতা পরিষ্কার। ফটোরেসিস্টের জন্য, একই ল্যাম্পগুলো সফট বেক এবং হার্ড বেক পরিচালনা করে তাপমাত্রার সঙ্গতি সহ, লাইন-এজ রুক্ষতা উন্নত করে এবং ত্রুটি কমায়। প্যাকেজিংয়ে, তারা দ্রুত, সমান কিউরিং প্রদান করে যা সাইকেল সময় কমায় যখন কম শক্তি ব্যবহার করে। এর ফলস্বরূপ উচ্চ উৎপাদন, পূর্বাভাসযোগ্য কর্মক্ষমতা, এবং কম রক্ষণাবেক্ষণের বিঘ্ন ঘটে। আপনার কি পরিকল্পনা করতে হবে এই ল্যাম্পগুলোর জন্য একটি নির্দিষ্ট পাওয়ার প্রোফাইল এবং লক্ষ্য স্তরের সাথে সঠিক তাপীয় সংযোগ প্রয়োজন। এগুলো বেশিরভাগ স্ট্যান্ডার্ড সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের সাথে একীভূত হবে, তবে ইনস্টল করার সময় একীকরণের সহনশীলতা নিশ্চিত করতে হবে যাতে গরম স্থান এড়ানো যায় এবং উল্লিখিত একরূপতা অর্জন করা যায়। আপনার নির্দিষ্ট রেসিপির জন্য র্যাম্প রেট এবং ডওয়েল টাইমগুলি লক ইন করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং রান পরিকল্পনা করুন।