http://ir-heating-supply.com/zh/tags/%E6%B9%BF%E5%BA%A6/ Recent content in 湿度 on Leading IR Heating Supplier Hugo zh Thu, 25 Jun 2026 04:44:19 +0800 http://ir-heating-supply.com/zh/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ Thu, 25 Jun 2026 04:44:19 +0800 http://ir-heating-supply.com/zh/posts/wafer-moisture-removal-lamp/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="晶圆除湿灯"></p> <p>在光刻车间里，哪怕有微量水分存在，都可能影响到光刻工艺的准确性。在<a href="https://goldisgood.com">使用</a>曝光设备之前，就难以控制光阻层的厚度以及CD的质量了。加热板虽然可以快速去除这些水分，但同时也会让晶圆背面过热，从而导致图案出现变形。为了解决这个问题，我们设计了这种专门用于去除晶圆上水分的装置——它只对晶圆的表面进行干燥处理，速度很快，而且不会影响晶圆的整体温度。</p> <p>该装置内部装有短波卤素灯，其能量释放方式十分精确且可控。在曝光区域内，温度均匀性可达到±0.1°C左右，设定值的重复性也非常好，误差在几度之内。这样的稳定性意味着，无论哪批晶圆经过处理后，其光阻层的质量都能保持一致。</p>