http://ir-heating-supply.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Leading IR Heating Supplier Hugo zh Sun, 19 Jul 2026 15:59:48 +0800 http://ir-heating-supply.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 15:59:48 +0800 http://ir-heating-supply.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p><strong>无需费力的MEMS晶圆干燥方式</strong><br> 在干燥MEMS传感器晶圆时，需要精心把握平衡点——既要快速去除晶圆上的液体，又不能破坏那些极其微小的结构。长期以来，人们一直使用大型对流式烤箱来烘干晶圆。但说实话，为了烘干一块薄薄的晶圆而加热大量空气实在是一种浪费。因此，我们转而使用短波红外加热灯。这种方式更加高效，同时也能减少洁净室内的碳排放量。</p>