Bộ phát nhiệt hồng ngoại tuyến tính

Wed, 24 Jun 2026 04:06:23 +0800

Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, bất kỳ sự thay đổi nhỏ nào về nhiệt độ, dù chỉ nửa độ C, cũng có thể gây ra những sai lệch lớn trong kích thước đường kẻ trên wafer, từ đó làm giảm tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn. Bạn cố gắng duy trì nhiệt độ theo tiêu chuẩn yêu cầu, nhưng mô-đun điều nhiệt lại gây khó khăn trong việc đảm bảo sự đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer. Ngoài ra, sự xuất hiện của các hạt bụi cũng khiến môi trường trong phòng sạch trở nên không ổn định. Thiết bị sưởi ấm bằng tia hồng ngoại tuyến tính giúp giải quyết cả hai vấn đề này cùng lúc.

Tuyến Tính on Leading IR Heating Supplier

Bộ phát nhiệt hồng ngoại tuyến tính