http://ir-heating-supply.com/vi/tags/ch%E1%BA%A5t-nh%E1%BA%A1y-s%C3%A1ng/ Recent content in Chất Nhạy Sáng on Leading IR Heating Supplier Hugo vi Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/vi/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ Mon, 08 Jun 2026 05:05:57 +0800 http://ir-heating-supply.com/vi/posts/photoresist-soft-bake-temperature-ir/ <p><img src="http://ir-heating-supply.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Nhiệt độ nướng mềm lớp nhạy quang IR"></p> <p>Trên tầng lithography, một bước soft bake lệch dù chỉ 2°C cũng làm sai lệch ngân sách nhiệt của photoresist. Việc giữ lại dung môi tăng cao. Độ đồng đều kích thước chữ (CD) bị ảnh hưởng. Sự khác biệt này quyết định đến việc một mẻ sản xuất đạt hay loại bỏ. Chúng tôi đã thiết kế <a href="https://henruite.com">module</a> soft bake hồng ngoại để loại bỏ biến động đó.</p> <p>Điều cần lưu ý về mặt kỹ thuật<br> Bộ phát IR sử dụng thạch anh sóng ngắn, làm nóng trực tiếp bề mặt <a href="https://goldisgood.com">wafer</a> mà không tiếp xúc vật lý. Kiểm soát nhiệt giữ ổn định ±0.1°C trên toàn bộ wafer, độ lặp lại trong khoảng ±0.2°C giữa các mẻ. Hồ sơ nhiệt phản ứng nhanh: mất 15 giây để ổn định, giúp giảm thời gian bake mà không vượt nhiệt độ mục tiêu.</p>