لیتھوگرافی کے عمل میں، سطح پر موجود نمی کی وجہ سے پروسیسنگ میں خلل پڑ سکتا ہے۔ ایکسپوژر ٹول کا استعمال کرنے سے پہلے ہی فوٹوریزسٹ کی موٹائی اور سی ڈیز پر قابو رکھنا مشکل ہو جاتا ہے۔ ہاٹ پلیٹس بھی اس نمی کو تیزی سے دور کرنے میں دشواری محسوس کرتی ہیں، اور اسی وجہ سے پیٹرن میں تغیرات پیدا ہو جاتے ہیں۔ ہم نے اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے ایک خصوصی لیمپ تیار کیا ہے؛ یہ صرف سامنے والی سطح کو خشک کرتا ہے، اور اس عمل میں کم وقت لگتا ہے، ساتھ ہی تھرمل بوجھ بھی کم رہتا ہے۔
یہ یونٹ کوارٹز کے خول کے اندر کم-تردد والے ہیلوجن عناصر کا استعمال کرتا ہے، تاکہ توانائی کو تیزی سے اور کنٹرول کے ساتھ خارج کیا جا سکے۔ ایکسپوزڈ زون میں درجہ حرارت ±0.1°C کے درمیان یکساں رہتا ہے، اور سیٹ پوائنٹ کی درستگی بھی برقرار رہتی ہے – چند ڈگریوں کے اندر۔ اس طرح کی استحکام کی وجہ سے، پروسیسنگ کے دوران کوئی تغیرات پیدا نہیں ہوتے۔
یہ یونٹ کلاس 1–100 کے کلین رومز میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، اور اس کی کم وزنی ساخت کی وجہ سے ریسیپیوں کو تبدیل کرنے کے دوران بھی تھرمل لیگ سے بچا جا سکتا ہے۔
روزمرہ کے استعمال میں، ویفرز کو کوٹر ڈرائر میں ڈالنے کے بعد، نمی سے متعلق خرابیاں کم ہو جاتی ہیں، اور فوٹوریزسٹ کی ساخت بہتر ہو جاتی ہے۔ چونکہ نمی کو چند سیکنڈوں میں ہی دور کیا جاتا ہے، اس لئے پروسیسنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور بجلی کی کھپت بھی کم رہتی ہے۔ اس یونٹ کی قابل اعتمادی بہت اچھی ہے؛ یہ 5,000 گھنٹوں تک بغیر کسی خرابی کے کام کر سکتا ہے، اور 24/7 بغیر کسی رکاوٹ کے کام کرتا رہتا ہے۔
اس یونٹ کی تنصیب بہت آسان ہے، لیکن اس کی صحیح سیدھ میں تنصیب ضروری ہے۔ لیمپ کو صرف سامنے والی سطح کو روشن کرنا چاہیے، اور بیم کا زاویہ ویفر کے سائز کے مطابق ہونا چاہیے، تاکہ کناروں پر زیادہ حرارت پیدا نہ ہو۔ لیمپ کی کارکردگی کو بہتر بنانے کے لئے، اس کے استعمال کے وقت اور شدت کو درست کرنا ضروری ہے۔
اس یونٹ کے استعمال سے فوٹوریزسٹ کی کارکردگی بہتر ہو جاتی ہے، سی ڈیز کا کنٹرول بہتر رہتا ہے، اور غلط وقت پر نمی کی وجہ سے پیش آنے والی خرابیاں بھی کم ہو جاتی ہیں۔