فیبریکیشن لیول پر، فوٹوریزسٹ درجہ حرارت کے لحاظ سے بہت حساس ہے۔ نرم یا سخت بیکنگ کے دوران 1°C کا فرق بھی فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو متأثر کر سکتا ہے، اور ایچنگ کی کارکردگی بھی متاثر ہو جاتی ہے۔ IR ہیٹنگ سسٹم کو ایک عام حرارتی ذریعہ کے طور پر استعمال کرنے سے مشکلات پیدا ہوتی ہیں؛ دراصل لیمپ کے وولٹیج کی استحکام ہی وہ چیز ہے جو ویفر کی سطح پر حرارتی یکسانیت کو برقرار رکھتی ہے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم IR سسٹم میں وولٹیج ریگولیٹر کا استعمال کرتے ہیں تاکہ لیمپ کا آؤٹ پٹ مستحکم رہے، چاہے لائن وولٹیج میں کتنا بھی فرق ہو۔ اس سے ویفر کا درجہ حرارت ±0.1°C کے دائرے میں رہتا ہے۔ اس کے نتیجے میں نرم اور سخت بیکنگ کے عمل میں یکسانیت پیدا ہوتی ہے، اور فوٹوریزسٹ کا حل بھی مناسب جگہ پر رہتا ہے۔ کلین روم کلاس 1–100 کو برقرار رکھنے کے لئے مواد سے گیسوں کے اخراج کو کم رکھنا ضروری ہے، اور ساخت کو مضبوط رکھنا بھی ضروری ہے – کوئی بلیک باڈی کے ٹکڑے نہیں، اور کوئی ذرات ویفر یا کوٹنگ پر نہیں پہنچنے چاہئیں۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیوں ہے؟
حرارتی توازن قابل مذاکرہ نہیں ہے۔ مستحکم IR پاور فوٹوریزسٹ کے بہاؤ کو مستحکم رکھتی ہے، اور ایچنگ ماسک کی سالمیت کو برقرار رکھتی ہے؛ اس سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔ اس سے عمل کی تکراریت بہتر ہوتی ہے، اور CD کنٹرول بھی بہتر ہوتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ ریگولیٹر اضافی بوجھ کو کم کرتا ہے، اور حرارت سے متعلق الارم بھی کم ہو جاتے ہیں۔
کیا چیزوں کو درست رکھنا ضروری ہے؟
ریگولیٹر، معیاری کوارٹز-ہیلوجن اور مختصر/درمیانی لہروں والے IR ذرائع کے ساتھ کام کرتا ہے، لیکن پھر بھی لیمپ کی ساخت اور اسٹیج کی حرارتی خصوصیات کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے۔ انسٹالیشن کے دوران، بیکنگ ماڈیول کے وائرنگ اور حرارتی فیڈبیک سسٹم کے ساتھ مضبوط انضمام ضروری ہے۔ ریٹروفیٹ کے بعد PID لوپ کو دوبارہ ترتیب دینا ضروری ہے، ورنہ ±0.1°C کی کارکردگی حاصل نہیں ہوگی۔ فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو درست کرنے کے لئے ایک مختصر ٹیسٹ بھی ضروری ہے۔