MEMS سینسر ویفروں کو بغیر کسی پریشانی کے خشک کرنا
جب MEMS سینسر ویفروں کو خشک کیا جاتا ہے، تو اس میں بہت احتیاط کی ضرورت ہوتی ہے۔ مائع کو جلد سے جلد ختم کرنا ضروری ہے، لیکن اگر زیادہ زور سے حرارت دی جائے، تو ان نازک مائکرو-ڈھانچوں کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔
طویل عرصے سے لوگ بڑے کنویکشن اوونوں کا استعمال کرتے رہے ہیں۔ لیکن در حقیقت، صرف ایک پتلی ویفر کو خشک کرنے کے لئے بڑی مقدار میں ہوا کو گرم کرنا بے فائدہ ہے۔ اسی لئے ہم نے شارٹ-ویو IR ہیٹنگ لیمپوں کا استعمال شروع کیا۔ یہ ایک بہتر طریقہ ہے، اور اس سے کلین روم میں کاربن کے اخراج میں کمی آتی ہے۔
حرارت کو مناسب جگہ پر پہنچانا
IR کا راز یہ ہے کہ اس میں توانائی کثافت بہت زیادہ ہوتی ہے۔ ہم پورے چیمبر کو گرم کرنے کے بجائے، توانائی کو براہ راست ویفر کی سطح پر مرکوز کرتے ہیں۔ اس طرح ویفر فوراً خشک ہو جاتا ہے۔ اب مزید کلوواٹ برباد نہیں ہوتے۔ اس طرح ویفر کو خشک کرنے کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور ہر ویفر کے لئے بجلی کے اخراج میں بھی کمی آتی ہے۔ یہ واقعی ایک مؤثر طریقہ ہے۔
حرارت پیدا کرنے والے آلات
ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز کے آلات کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ UV-IR شعاعوں کو بلا رکاوٹ گزرنے دیتے ہیں۔
لیکن ہر ویفر ایک جیسا نہیں ہوتا۔ جس چیز سے کام کیا جا رہا ہے، اس کے حساب سے ہم لیمپوں پر خصوصی کوٹنگیں لگاتے ہیں، تاکہ توانائی کا اخراج مناسب رہے۔ یہی وہ طریقہ ہے جس سے ویفر پر موجود مادہ خشک ہو جاتا ہے، بغیر ویفر کو نقصان پہنچے۔
اس کے علاوہ، ہم معیاری صنعتی کنکٹرز کا استعمال کرتے ہیں۔ مرمت کے دوران آپ کو پورے سسٹم کو دوبارہ سیٹ کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔ یہ بہت آسان ہے۔
مشکلات اور ان کا حل
شارٹ-ویو IR کوئی جادو نہیں ہے؛ یہ تو بہت طاقتور ہے۔ اور اس طاقت کے ساتھ ہی کچھ چیلنج بھی ہیں۔
آپ کو کنویئرر کی رفتار اور لیمپ کی اونچائی کو بالکل درست رکھنا ہوگا۔ اگر ویفر لیمپ کے نیچے چند سیکنڈ زیادہ رہ جائے، تو اس سے ویفر کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔ آپ کے PLC سسٹم کو بہت درست ہونا چاہیے، ورنہ سینسروں کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔
“گرین فیکٹری” کی جانب بڑھنا صرف ایک نعرہ نہیں ہے؛ یہ تو توانائی کے استعمال کو کم کرنے کا ایک طریقہ ہے۔ اس طرح آپ کے پاس چھوٹے آلات ہوں گے، اور CO2 کے اخراج میں بھی کمی آئے گی۔ یہ کام کے عمل کے لئے بھی فائدہ مند ہے، اور سیارے کے لئے بھی۔