Сушіння пластин MEMS без проблем
Під час сушіння пластин сенсорів типу MEMS потрібно дотримуватися певних правил. Необхідно якомога швидше позбутися рідини з поверхні пластини – але якщо робити це занадто агресивно, можна пошкодити тонкі та делікатні мікроструктури.
Довгий час люди використовували великі конвективні печі для сушіння. Але, чесно кажучи, нагрівання великої кількості повітря лише для сушіння тонкої пластини є марною тратою енергії. Тож ми перейшли на використання ламп з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням. Це більш ефективний спосіб, а також допомагає зменшити вплив на навколишнє середовище.
Ефективне нагрівання
Інфрачервоне випромінювання має високу щільність енергії. Замість нагрівання всієї камери, енергія спрямовується прямо на поверхню пластини. Це дозволяє швидко досягти температури, необхідної для випаровування рідини. Таким чином не витрачається енергія на нагрівання навколишнього повітря. Це забезпечує скорочення часу обробки та значне зниження вартості електроенергії на одну пластину. Це просто ефективно.
Компоненти для нагрівання
Ми використовуємо кварцові оболонки високої чистоти, які дозволяють проходженню УФ- та інфрачервоного випромінювання без їх блокування.
Але не кожна пластина є однаковою. Залежно від матеріалу пластини, ми додаємо до ламп спеціальні покриття, щоб налаштувати спектр випромінювання. Це допомагає ефективно випаровувати залишки рідини, не пошкоджуючи при цьому пластину.
Крім того, ми використовуємо стандартні промислові з’єднувачі. Під час технічного обслуговування не потрібно перепідключати всю систему – це просто заміна комплектуючих.
Проблеми та їхнє вирішення
Короткохвильове інфрачервоне випромінювання є потужним засобом для нагрівання. Але це також передбачає певні вимоги до налаштувань. Потрібно точно контролювати швидкість переміщення пластини та висоту розташування лампи. Якщо пластина залишається під дією лампи навіть на кілька секунд довше, це може призвести до термічних пошкоджень. Логіка керування обладнанням мусить бути точною, інакше сенсори можуть бути пошкоджені.
Перехід до „зеленої фабрики“ – це не просто модний термін. Це спосіб позбутися енергогінних пристроїв для нагрівання. Це дозволяє зменшити об’єм обладнання та значно знизити викиди CO2. Це корисно як для процесу виробництва, так і для планети.